Establishment of the Scientific Foundation for creation of fine fabrication materials and processes for single nanometer.

• Project/Area Number: 25K01553
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
• Research Institution: National Institutes for Quantum Science and Technology
• Principal Investigator: 山本 洋揮 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子技術基盤研究所 量子機能創製研究センター, 主幹研究員 (00516958)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 濱田 崇 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子技術基盤研究所 量子機能創製研究センター, 主任研究員 (30600019)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥18,590,000 (Direct Cost: ¥14,300,000、Indirect Cost: ¥4,290,000); Fiscal Year 2027: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2026: ¥7,280,000 (Direct Cost: ¥5,600,000、Indirect Cost: ¥1,680,000); Fiscal Year 2025: ¥6,630,000 (Direct Cost: ¥5,100,000、Indirect Cost: ¥1,530,000)
• Keywords: 材料・加工 / 半導体微細化 / ナノ加工 / ナノ材料 / ブロック共重合体

Outline of Research at the Start

人工知能など情報技術を支えるコンピュータ性能の更なる向上のため、シングルナノパターンを1 nm未満の精度で加工することが求められているがシングルナノ微細加材料はない。本研究では、シングルナノ加工が可能なブロック共重合体のミクロ相分離を取り上げ、独自に開発したブロック共重合体の誘導体を合成し、シングルナノパターンの加工、およびそのラフネスを調べる。また、量子ビームによるブロック共重合体の高度配向制御を行うともに、ブロック共重合体へのトリメチルアルミニウム（TMA）を含侵させた後のエッチング耐性を調べる。以上によりシングルナノ微細加工材料・プロセス創成のための学術基盤を確立する。