閉じ込め空間における二次元半導体の気相－液相－固相成長のメカニズム解明と制御

• Project/Area Number: 25K01624
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 28030:Nanomaterials-related
• Research Institution: Okayama University
• Principal Investigator: 鈴木 弘朗 岡山大学, 環境生命自然科学学域, 研究准教授 (20880553)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 三澤 賢明 福岡工業大学, 工学部, 助教 (00823791) ; 徳永 智春 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (90467332)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥18,850,000 (Direct Cost: ¥14,500,000、Indirect Cost: ¥4,350,000); Fiscal Year 2027: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000); Fiscal Year 2026: ¥10,270,000 (Direct Cost: ¥7,900,000、Indirect Cost: ¥2,370,000); Fiscal Year 2025: ¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000)
• Keywords: 二次元半導体 / 遷移金属カルコゲナイド / 化学気相成長法 / マイクロリアクタ / その場観測

Outline of Research at the Start

単層TMDCの閉じ込め空間における気相－液相－固相（VLS）成長のメカニズム解明と成長制御法について研究する．これまで二枚の基板で構成した“基板積層マイクロリアクタ”の閉じ込め空間を用いて大面積高品質なTMDCの結晶成長を報告した．マイクロリアクタ中における前駆体液滴の動的振る舞いや結晶成長メカニズムの解明は，結晶サイズや品質の制御に向けて重要である．この課題に対し本研究では，その場観測をコア技術とし，TMDCのVLS成長における前駆体液滴の動的振る舞いや，結晶成長過程の理解を通して，結晶サイズや結晶品質を制御し，位置制御合成する技術を開発する．