大面積・高速接合を実現するビームシェーピングによる超短光パルスマイクロ接合

Research Project

Project/Area Number	25K07521
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research Institution	Nara National College of Technology
Principal Investigator	玉木隆幸奈良工業高等専門学校, 電子制御工学科, 准教授 (80455154)
Project Period (FY)	2025-04-01 – 2028-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2027: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000) Fiscal Year 2026: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000) Fiscal Year 2025: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
Keywords	超短光パルスマイクロ接合法 / フェムト秒レーザー / ビームシェーピング
Outline of Research at the Start	集光点における形状や光の強度分布を制御できるビームシェーピングを利用し、大面積・高速接合を実現する新しい超短光パルスマイクロ接合法を開発する。さらに、レーザー加工において、従来のパルスの照射方式（シングルパルスモード）と比較し、レーザー照射領域付近における発熱過程を制御し、高品質かつ高効率に微細な加工ができると期待されているGHz/MHzバーストモードフェムト秒レーザーを本接合法に適応し、安定性、信頼性、品質性に優れた接合を実現する。