Development of an integrated photoacoustic microphone for extending AI diagnosis

• Project/Area Number: 25K07772
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 21030:Measurement engineering-related
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: 森田 伸友 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ付 (90807554)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2027: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000); Fiscal Year 2026: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2025: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
• Keywords: 音響計測 / 光集積 / 3次元実装

Outline of Research at the Start

音波や表面波を用いた音響情報による各種機器の診断, 製造モニタリングは近年のAI活用によってさらなる広がりを見せている. 本研究ではMicro-Electro-Mecanical Systems (MEMS) 製造技術を基盤としたデザイン検討とプロセス開発により、従来大型かつ高価で利用に制約のあった光波マイクロホンの超小型化とそれによる高い量産性・超低コスト化を実現する微小集積化光学系の確立を目指す。