高性能光感応性ゲルの開発とセラミックスナノパターンの作製

Research Project

Project/Area Number	25K07827
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Research Institution	Kindai University
Principal Investigator	野間直樹近畿大学, 共同利用センター, 講師 (70208388)
Project Period (FY)	2025-04-01 – 2028-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2027: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000) Fiscal Year 2026: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000) Fiscal Year 2025: ¥3,380,000 (Direct Cost: ¥2,600,000、Indirect Cost: ¥780,000)
Keywords	微細加工 / セラミックス / 光感応性 / 高解像度 / 金属アルコキシド
Outline of Research at the Start	申請者は、光感能性ゲルを用いた微細パターニングに関する一連の研究を行っている。本研究では、光感能性ゲルの原料である化学修飾剤に着目し、π共役系の広がりや電子吸引性置換基の有無など電子状態の異なる化学修飾剤を用いて光感能性ゲルを作製し、パターニング特性の制御を行うとともに、パターンの高解像度化を検討する。更に、焼成により得られるセラミックスの諸物性を検討し、高性能セラミックスパターンの作製を行う。