超多層分極反転AlN系膜/音響反射膜を用いた超高周波動作・高次モードBAW共振子の創成

• Project/Area Number: 25K07832
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
• Research Institution: University of Yamanashi
• Principal Investigator: 鈴木 雅視 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 (60763852)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2027: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2026: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000); Fiscal Year 2025: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
• Keywords: AlN薄膜 / 弾性波フィルタ / 分極反転構造 / BAW共振子 / 高周波

Outline of Research at the Start

バルク弾性波(BAW)共振子はスマホ等に内蔵される高周波数フィルタとして実用化されている。一方で大容量・高速通信を実現する次世代通信規格に対応するために，BAWフィルタには「高周波動作」「広い通過帯域幅」「高い急峻性」「良好な温度安定性」「高耐久性」の両立が求められる。しかし，従来の構造（電極/AlN単層膜/電極）では実現が困難である。そこで本研究では「膜厚を維持しつつ高周波化が可能な高次モード共振」と「圧電膜へのBAWエネルギー閉じ込め効果の増幅による性能改善」を特徴とする超多層分極反転AlN系膜/音響反射多層膜/基板構造を用いたBAW共振子・フィルタの開発に挑戦する。