その場観察法を用いた圧電薄膜の面内分極構造由来による圧電横効果の起源解明

Research Project

Project/Area Number	25K08285
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 26020:Inorganic materials and properties-related
Research Institution	防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
Principal Investigator	西田謙防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 教授 (40299384)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	江原祥隆防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), 電気情報学群, 准教授 (00868755)
Project Period (FY)	2025-04-01 – 2028-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2027: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000) Fiscal Year 2026: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000) Fiscal Year 2025: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Keywords	圧電体薄膜 / その場観察XRD
Outline of Research at the Start	本研究はIoTセンサ、MEMS等の応用に向け実装で必要な巨大圧電横効果の新しい材料設計指針の構築を目指す。従来から面内分極ドメイン構造が圧電特性に大きく影響を及ぼす事が知られていた。そこで、面内分極ドメイン構造制御した膜の圧電横効果を直接評価し、同時に電界下のその場XRD観察やラマン分光測定によるドメイン構造変化を直接観察し圧電性の精密測定を行う。面内分極ドメイン構造の変化（90°ドメインの回転）と圧電横効果の関係性を定量的に明らかにし、圧電材料設計指針の基礎を構築することで、実装デバイスの信頼性向上への波及効果が期待できる。