Film formation with a non-equilibrium planar plasma induced in a small cavity in liquid phase and application to dye-sensitized solar cells

Research Project

Project/Area Number	25K08327
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
Research Institution	Shizuoka University
Principal Investigator	奥谷昌之静岡大学, 工学部, 教授 (00293605)
Project Period (FY)	2025-04-01 – 2028-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2027: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000) Fiscal Year 2026: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000) Fiscal Year 2025: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Keywords	非平衡平面プラズマ / 薄膜 / 透明導電膜 / 色素増感太陽電池
Outline of Research at the Start	本研究では、液相中の微小空洞内に誘電体バリア放電により発生させる大気圧非平衡平面プラズマを独自の製膜法へと展開させる。これまで、電極の面内へバイアス印加する放電方式を採用してきたが、本研究では表裏にバイアス印加して高エネルギープラズマを発生させる新方式を提案する。また製膜の際、プラズマが閉じ込められた微小空洞を一定の周期・軌道で基板上を走査させ、液中空洞内の気相プラズマの安定性を確保する。さらに、この微小空洞を利用したプラズマ処理をダイレクトパターニング製膜へと展開するとともに、クリーンエネルギー源として期待の高い色素増感太陽電池のモジュール化への実用的技術へと進展させる。