Development of Heterogeneous Multicomponent Oxide Films with a High Aspect Ratio and a Regularly-Repeated Structure

• Project/Area Number: 25K08335
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
• Research Institution: Kindai University
• Principal Investigator: 岩崎 光伸 近畿大学, 理工学部, 教授 (20278740)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2027: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000); Fiscal Year 2026: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000); Fiscal Year 2025: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
• Keywords: 誘電体膜 / パターニング / 凹凸構造 / アスペクト比 / 表面電位

Outline of Research at the Start

申請者らはアノード酸化のみで BaTiO3などの複合酸化物膜を作製することにはじめて成功し，すでにさまざまな複合酸化物膜を作製していることから,世界の研究をけん引し、世界的な研究に大きく貢献している。さらに，「光感応法と火花放電パルスアノード酸化を併用した規則的ミクロ構造を有する異種金属酸化物の作製」は申請者のみが有する独自の技術であり，アノード酸化による酸化物膜の作製に関する国内外の最先端研究と比較しても先導的で，新規誘電特性を発現する可能性があるという点で革新的であり，普遍性の高い価値を創出する研究である。