Development of High Thermal Conductivity DLC Tribo-Coating by Expanding the Material Search Space

• Project/Area Number: 25K08337
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
• Research Institution: National Institute for Materials Science
• Principal Investigator: 佐々木 道子 国立研究開発法人物質・材料研究機構, ナノアーキテクトニクス材料研究センター, NIMS特別研究員 (50415171)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 後藤 真宏 国立研究開発法人物質・材料研究機構, ナノアーキテクトニクス材料研究センター, 主席研究員 (00343872)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2027: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000); Fiscal Year 2026: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2025: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
• Keywords: DLC / トライボコーティング / 熱伝導 / 材料探索

Outline of Research at the Start

本研究では，真空チャンバー内に設置された複数のスパッタガンを用いて複数元素の膜厚周期を精密に制御し，それらスパッタ粒子の混合タイミング・バランスを変えることで，準安定状態を人為的に変化させ，プロセス条件の差異により，いかなるナノ構造が発現するのかを解明すると共にそれらの膜の熱伝導率とトライボロジー特性の相関性を明らかにする。