GHzパルス電子ナノプローブを用いた弾性波局所共鳴励起分析法の開発

• Project/Area Number: 25K08431
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 28030:Nanomaterials-related
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 佐藤 庸平 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (70455856)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2027: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000); Fiscal Year 2026: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2025: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
• Keywords: パルス電子線 / 弾性波

Outline of Research at the Start

高速情報通信の分野で重要となる圧電材料の開発のために、ナノスケール領域での弾性波の振動特性を評価する分析手法が求められている。本研究では、GHz周波数のパルス電子線ナノプローブを用いて取得した収束電子回折（CBED）図形から、弾性波励起に伴う格子変化を解析し、局所的に励起され弾性波振動モードを解明するための分析手法の開発を行う。圧電材料（LiNbO3・LiTaO3）および強誘電材料（BaTiO3）の薄膜試料から、パルス電子線を用いたCBED図形を取得し、パルス電子線の周波数依存性、パルス電子ナノプローブの照射位置依存性を解析することで、圧電薄膜上での弾性波特性を解明する電子線分光法を構築する。