• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

結晶性酸化膜/半導体ヘテロ接合による量子積層構造と高周波発振素子への展開

Research Project

Project/Area Number 25K08491
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeMulti-year Fund
Section一般
Review Section Basic Section 30010:Crystal engineering-related
Research InstitutionThe University of Electro-Communications

Principal Investigator

塚本 貴広  電気通信大学, 大学院情報理工学研究科, 准教授 (50640942)

Project Period (FY) 2025-04-01 – 2028-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2027: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2026: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2025: ¥2,340,000 (Direct Cost: ¥1,800,000、Indirect Cost: ¥540,000)
Keywords結晶性酸化膜
Outline of Research at the Start

情報量の増大や無線通信における周波数ひっ迫問題において、ミリ波帯(30-300 GHz)の高い周波数の利用が求められている。低コストなⅣ族半導体により構成されたミリ波デバイスの開発が求められているが、低いバンドオフセット(0.2 eV程度)がボトルネックとなっていた。近年、デジタルDCスパッタ法により、基板垂直方向に結晶がそろった(1軸配向した)結晶性酸化膜の形成が可能となった。本研究では、独自に開発してきたスパッタエピタキシー法とデジタルDCスパッタ法を新規に組み合わせることでⅣ族半導体上に結晶性酸化膜を形成し、結晶性酸化膜/Ⅳ族半導体量子積層構造への応用を試みる。

URL: 

Published: 2025-04-17   Modified: 2025-06-20  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi