非線形光学フィルタリング共焦点プローブによる次世代ピコメートル級走査式形状計測

• Project/Area Number: 25K17517
• Research Category: Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Review Section: Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 佐藤 遼 東北大学, 工学研究科, 助教 (20993421)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥4,810,000 (Direct Cost: ¥3,700,000、Indirect Cost: ¥1,110,000); Fiscal Year 2027: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2026: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2025: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
• Keywords: ピコメートル / 走査式形状計測 / 加工機上計測 / 光応用計測 / 超精密計測

Outline of Research at the Start

次世代の「加工機上非接触」表面形状計測達成に必須となる「角度」・「位置」の「単一」光プローブ計測を目的として，1) 2倍波発生強度の複屈折結晶中への光波入射状態依存性を理論的に確立すること，2) 集束光スポットを測定プローブとする複屈折結晶を用いた「非線形光学フィルタリング共焦点プローブ」の提案によるワーク表面の「傾斜角」および「位置」を高分解能検出する信号処理アルゴリズムを創出することによって，これまでにない集束光プローブによる「角度」・「位置」計測新学理を構築し，自由曲面形状を加工機上で非接触計測し，その結果を加工工程へフィードバック可能な次世代ピコメートル級走査式形状計測システムを従来より2桁高い測定分解能で実現する．