大気圧プラズマと金属拡散接合を利用した接着剤フリーの形状可変ミラーの作製

Research Project

Project/Area Number	25K17524
Research Category	Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Allocation Type	Multi-year Fund
Review Section	Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research Institution	The University of Osaka
Principal Investigator	藤大雪大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (70910678)
Project Period (FY)	2025-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help	¥4,810,000 (Direct Cost: ¥3,700,000、Indirect Cost: ¥1,110,000) Fiscal Year 2026: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000) Fiscal Year 2025: ¥3,120,000 (Direct Cost: ¥2,400,000、Indirect Cost: ¥720,000)
Keywords	超精密表面研磨加工 / 大気圧プラズマ / 金属拡散接合
Outline of Research at the Start	Si基板に圧電体を接合した形状可変ミラーが開発され，現在，真空環境での使用が想定されている．この要求を満たすには接着剤フリーな接合が必要となる．申請者は本研究において接合面に金属を成膜し，金属表面を大気圧プラズマで洗浄しながら接合する新規常温接合プロセスを提案・開発する．補助的な加圧・加熱なく接合面から金属原子の拡散を阻害する不純物が除去されることで，強固な接合が可能になる．本技術を用いて世界初の真空環境下で動作する形状可変ミラーを実現する．