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ALD・マルチパターニング法によるナノラミネート誘電体の形状制御と機能解明

Research Project

Project/Area Number 25K17633
Research Category

Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Research InstitutionHokkaido University

Principal Investigator

遠堂 敬史  北海道大学, 電子科学研究所, 特任助教 (70972305)

Project Period (FY) 2025-04-01 – 2028-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2027: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2026: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2025: ¥2,340,000 (Direct Cost: ¥1,800,000、Indirect Cost: ¥540,000)
Keywords原子層堆積法(ALD) / マルチパターニング / 誘電特性
Outline of Research at the Start

本研究では、緩和時間の異なる材料界面に電荷の蓄積が起こるMaxwell-Wagner効果による大きな誘電特性をもつナノラミネートを、原子層堆積法によって原子1層単位のスケールで制御して作製、電子線描画(EB)により任意形状へ微細加工を行い、原子分解能電子顕微鏡による構造解析と物性測定により、その誘電特性発現の詳細を明らかにする。本研究では、ナノラミネートのような精密な制御が要求される3次元構造体を任意の場所や大きさで作製するプロセスを実現し、次世代デバイスや材料開発で要求される高機能・小型・安定・高性能化などへ大きく貢献する。

URL: 

Published: 2025-04-17   Modified: 2025-06-20  

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