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The measurements of Czochralski melt flow under the rotational magnetic field and the electromagnetic field for the high quality crystal growth.

Research Project

Project/Area Number 26420151
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeMulti-year Fund
Section一般
Research Field Thermal engineering
Research InstitutionOita University

Principal Investigator

Iwamoto Mitsuo  大分大学, 工学部, 准教授 (80232718)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2016)
Budget Amount *help
¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
Fiscal Year 2016: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2015: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2014: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Keywords対流伝熱 / チョクラルスキー法 / 液体金属 / 回転磁場 / 電流-磁場印加 / 超音波ドップラー法 / 数値シミュレーション / 対流 / 回転磁場印加 / 導電性流体 / 数値解析 / 垂直磁場-電流印加 / 流れの測定 / 超音波パドップラー法
Outline of Final Research Achievements

Experimental and numerical studies were carried out for Czochralski melt convection under the rotational magnetic field and the electromagnetic field. A silicon single crystal for the semiconductor is mainly manufactured by Czochralski method. The quality of grown crystal is determined by the melt flow, so that the static magnetic field applied the melt to control the melt convection, nowadays. The model experiment using Gallium melt was carried out under the rotational magnetic field and the electromagnetic field. In addition, the numerical computation was carried out to visualize the melt convection under the rotational magnetic field. The rotational magnetic field and the electromagnetic field had an advantage to control the melt convection than the traditional static magnetic field in spite of the weak magnetic field.

Report

(4 results)
  • 2016 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2015 Research-status Report
  • 2014 Research-status Report
  • Research Products

    (14 results)

All 2016 2015 2014

All Presentation (14 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results)

  • [Presentation] Numerical study of Czochralski melt flow in the electric conductive crucible under the rotational magnetic field.2016

    • Author(s)
      林田真治, 尾﨑大地, 岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • Organizer
      The 29th International Symposium on Chemical Engineering,PG-05
    • Place of Presentation
      宮崎市 シーガイアコンベンションセンター
    • Year and Date
      2016-12-02
    • Related Report
      2016 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] UVP measurement of the Czochralski melt flow in the electric conductive crucible under the rotational magnetic field.2016

    • Author(s)
      尾﨑大地, 林田真治,岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • Organizer
      The 29th International Symposium on Chemical Engineering,PG-01
    • Place of Presentation
      宮崎市 シーガイアコンベンションセンター
    • Year and Date
      2016-12-02
    • Related Report
      2016 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 導電性ルツボにおけるRMCZ 法融液対流のUVP 法による測定2016

    • Author(s)
      尾崎大地, 林田真治, 岩本光生, 齋藤晋一
    • Organizer
      化学工学会九州支部 第27 回九州地区若手ケミカルエンジニア討論会
    • Place of Presentation
      福岡市 休暇村志賀島
    • Year and Date
      2016-07-22
    • Related Report
      2016 Annual Research Report
  • [Presentation] 導電性ルツボにおけるRMCZ法融液対流の数値解析的研究2016

    • Author(s)
      林田真治, 尾崎大地, 岩本光生, 齋藤晋一
    • Organizer
      化学工学会九州支部 第27 回九州地区若手ケミカルエンジニア討論会
    • Place of Presentation
      福岡市 休暇村志賀島
    • Year and Date
      2016-07-22
    • Related Report
      2016 Annual Research Report
  • [Presentation] UVP measurement of the non-axisymmetric Czochralski melt flow under the electromagnetic field2015

    • Author(s)
      朝比奈愛美, 本田美由紀, 利根凌太郎 , 岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • Organizer
      The 28th International Symposium on Chemical Engineering, OE-01
    • Place of Presentation
      RAMADA PLAZA JEJU HOTEL, Jeju, Korea(韓国済州島ラマダプラザホテル)
    • Year and Date
      2015-12-04
    • Related Report
      2015 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Numerical study of Czochralski melt flow under the rotational magnetic field and the electromagnetic field2015

    • Author(s)
      本田 美由紀, 朝比奈 愛美, 岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • Organizer
      The 28th International Symposium on Chemical Engineering, OE-17
    • Place of Presentation
      RAMADA PLAZA JEJU HOTEL, Jeju, Korea(韓国済州島ラマダプラザホテル)
    • Year and Date
      2015-12-04
    • Related Report
      2015 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] MCZ法流動におよばす電流・磁場の影響の測定2015

    • Author(s)
      朝比奈愛美、利根凌太郎、岩本光生、齋藤晋一
    • Organizer
      化学工学会九州支部 第 26 回九州地区若手ケミカエルンジニア討論会,No.27 pp.42
    • Place of Presentation
      佐賀県伊万里市 伊万里グランドホテル
    • Year and Date
      2015-07-17
    • Related Report
      2015 Research-status Report
  • [Presentation] RMCZ法における流れと温度分布の数値解析的研究2015

    • Author(s)
      本田美由紀,朝比奈愛美,岩本光生,齋藤晋一
    • Organizer
      化学工学会九州支部 第 26 回九州地区若手ケミカエルンジニア討論会,No.28 pp.43
    • Place of Presentation
      佐賀県伊万里市 伊万里グランドホテル
    • Year and Date
      2015-07-17
    • Related Report
      2015 Research-status Report
  • [Presentation] Study on UVP measurement of transient CZ melt flow under the rotational magnetic field2014

    • Author(s)
      朝比奈愛美, 本田美由紀, 岩本光生,齋藤晋一,赤松正人,尾添紘之
    • Organizer
      The 27th International Symposium on Chemical Engineering
    • Place of Presentation
      マレーシア クアラルンプール,ペトラワールドトレードセンター
    • Year and Date
      2014-12-05 – 2014-12-07
    • Related Report
      2014 Research-status Report
  • [Presentation] The effect of Lorentz force in the CZ melt flow under the rotational magnetic field2014

    • Author(s)
      本田美由紀, 朝比奈愛美, 岩本光生,齋藤晋一,赤松正人,尾添紘之
    • Organizer
      The 27th International Symposium on Chemical Engineering
    • Place of Presentation
      マレーシア クアラルンプール,ペトラワールドトレードセンター
    • Year and Date
      2014-12-05 – 2014-12-07
    • Related Report
      2014 Research-status Report
  • [Presentation] Lorentz force distribution in the Czochralski melt flow under the Electromagnetic field2014

    • Author(s)
      吉兼憲一,岩本光生,齋藤晋一,赤松正人,尾添紘之
    • Organizer
      The 27th International Symposium on Chemical Engineering
    • Place of Presentation
      マレーシア クアラルンプール,ペトラワールドトレードセンター
    • Year and Date
      2014-12-05 – 2014-12-07
    • Related Report
      2014 Research-status Report
  • [Presentation] UVP法による回転磁場下におけるCZ法融液流動の過渡変化の測定2014

    • Author(s)
      朝比奈 愛美, 本田 美由紀, 齋藤 晋一, 岩本 光生
    • Organizer
      日本機械学会九州支部 大分講演会
    • Place of Presentation
      大分市,ホルトホール大分
    • Year and Date
      2014-09-20
    • Related Report
      2014 Research-status Report
  • [Presentation] 回転磁場印加CZ 法における磁束密度や磁場回転数が融液流内流れ構造の過渡変化に及ぼす影響の実験的検討2014

    • Author(s)
      朝比奈愛美, 本田美由紀, 齋藤晋一, 岩本光生
    • Organizer
      化学工学会九州支部 第25回九州地区若手ケミカルエンジニア討論会
    • Place of Presentation
      宮崎市,ANAホリデーインリゾート宮崎
    • Year and Date
      2014-07-25 – 2014-07-26
    • Related Report
      2014 Research-status Report
  • [Presentation] UVP法による回転磁場印加チョクラルスキー法融液内速度分布の測定2014

    • Author(s)
      朝比奈愛美,佐藤大樹, 齋藤晋一,岩本光生
    • Organizer
      可視化情報学会 第42回可視化情報シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京都,工学院大学新宿キャンパス
    • Year and Date
      2014-07-21 – 2014-07-22
    • Related Report
      2014 Research-status Report

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Published: 2014-04-04   Modified: 2018-03-22  

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