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Basic behavior analysis of the Leidenfrost droplet toward the functional thin film fabrication on the three-dimensional object

Research Project

Project/Area Number 26630395
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Allocation TypeMulti-year Fund
Research Field Properties in chemical engineering process/Transfer operation/Unit operation
Research InstitutionKochi University of Technology

Principal Investigator

Kawaharamura Toshiyuki  高知工科大学, 公私立大学の部局等, 准教授 (00512021)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2016-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2015)
Budget Amount *help
¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Fiscal Year 2015: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2014: ¥3,120,000 (Direct Cost: ¥2,400,000、Indirect Cost: ¥720,000)
Keywordsミスト液滴 / ライデンフロスト効果 / 定常状態 / 瞬間撮影 / ライデンフロスト / 微小液滴挙動 / 液滴の挙動
Outline of Final Research Achievements

From recent research, it has been gradually understood that the uniform thin film on the large-area substrate and the high-quality thin film controlled at the atomic layer level are obtained by “super-migration” caused by Leidenfrost state droplet in mist CVD. The technique will be promising for the functional thin film fabrication on the three-dimensional object. Thus, the behavior analysis of the droplet with a diameter of a few micrometers at Leidenfrost state is a main focus in this study.
The observation of the droplet with a diameter of a few micrometers is difficult because it is not stable under atmospheric pressure and is easily moved by a heat disturbance. Then, prototype system of special-specification was designed and was installed into the measurement system. Finally, the micrometer droplet with a velocity of a few meters was successfully observed with the system.

Report

(3 results)
  • 2015 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2014 Research-status Report
  • Research Products

    (20 results)

All 2016 2015 2014 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (12 results) Remarks (4 results) Patent(Industrial Property Rights) (3 results)

  • [Journal Article] Physics on development of open-air atmospheric pressure thin film fabrication technique using mist droplets: Control of precursor flow2014

    • Author(s)
      Toshiyuki Kawaharamura
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 53 Issue: 5S1 Pages: 05FF08-05FF08

    • DOI

      10.7567/jjap.53.05ff08

    • NAID

      210000143837

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      松崎俊介, 太田垣知輝, 高木耕平, 川原村敏幸
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      日本機械学会 2016年度 年次大会
    • Place of Presentation
      九州大学 伊都キャンパス, 福岡市, 福岡
    • Year and Date
      2016-09-11
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      松崎俊介, 太田垣知輝, 高木耕平, 川原村敏幸
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      日本機械学会 中国四国支部第54期総会・講演会
    • Place of Presentation
      愛媛大学工学部, 松山市, 愛媛
    • Year and Date
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      川原村 敏幸
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    • Place of Presentation
      京都リサーチパーク, 京都市, 京都
    • Year and Date
      2016-01-18
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      川原村 敏幸
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      第76回応用物理学会秋季学術講演会
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      名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-15
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      須和 祐太, 川原村 敏幸, 小島 一信, 秩父 重英
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      第62回応用物理学会春季学術講演会
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      東海大学湘南キャンパス
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      2015-03-13
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      内田 貴之, 川原村 敏幸, 藤田 静雄, 平松 孝浩, 織田 容征
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      第62回応用物理学会春季学術講演会
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      東海大学湘南キャンパス
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      2015-03-12
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      2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
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      Hynes Convention Center, Boston, Massachusetts, USA
    • Year and Date
      2014-12-01
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      須和祐太, 川原村敏幸
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      北海道大学札幌キャンパス
    • Year and Date
      2014-09-19
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      第75回応用物理学会秋季学術講演会
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      北海道大学札幌キャンパス
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      2014-09-19
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      2014-09-17
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      平成26年度日本材料科学会四国支部総会及び第23回講演大会
    • Place of Presentation
      高知工科大学香美キャンパス
    • Year and Date
      2014-06-14
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  • [Remarks]

    • URL

      http://www.nano.kochi-tech.ac.jp/tosiyuki/index.html

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      http://www.nano.kochi-tech.ac.jp/tosiyuki/index.html

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    • URL

      http://www.lab.kochi-tech.ac.jp/quantum/top.html

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  • [Remarks] 高知工科大学 システム工学群 トップ

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      http://www.sceng.kochi-tech.ac.jp/

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  • [Patent(Industrial Property Rights)] 膜厚算出方法、成膜装置およびプログラム2015

    • Inventor(s)
      川原村敏幸、織田真也、人羅俊実
    • Industrial Property Rights Holder
      高知工科大学、(株)FLOSPHIA
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2015-02-06
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  • [Patent(Industrial Property Rights)] 量子井戸構造および半導体装置2014

    • Inventor(s)
      川原村敏幸、鄧太江(ダン,タイ ジャン)、織田真也、人羅俊実
    • Industrial Property Rights Holder
      高知工科大学、(株)FLOSPHIA
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2014-08-29
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    • Inventor(s)
      川原村敏幸、鄧太江(ダン,タイ ジャン)、織田真也、人羅俊実
    • Industrial Property Rights Holder
      高知工科大学、(株)FLOSPHIA
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2014-08-29
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Published: 2014-04-04   Modified: 2017-05-10  

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