| Project/Area Number |
60220013
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Special Project Research
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Research Institution | Kyushu University |
|---|
Principal Investigator |
村岡 克紀 九州大学, 国立大(その他), 教授 (80038546)
|
|---|
| Project Period (FY) |
1985
|
| Project Status |
Completed (Fiscal Year 1985)
|
| Budget Amount *help |
¥2,500,000 (Direct Cost: ¥2,500,000)
Fiscal Year 1985: ¥2,500,000 (Direct Cost: ¥2,500,000)
|
|---|
| Keywords | イオンビーム / スパッタリング / レーザー螢光法 / 放出角度分布 / エネルギー分布 / 形成エネルギー / 可変波長 / 真空紫外 |
|---|
| Research Abstract |
1.イオンビームによりスパッターされた粒子の放出角度分布、エネルギー分布を、レーザー螢光法を用いて詳細に測定した結果以下の成果を得た。
(1)放出角度分布
入射イオンビームのエネルギーが低い間は余弦分布に近い角度分布であるが、エネルギーが大きく(1KV以上)なると徐々にオーバー余弦分布になることを示した。その結果の解釈のために、スパッタリングシミュレーションコードACATで実験条件を模擬し、同様な傾向を得た。その結果、低エネルギー入射では低次反跳原子の寄与が大きいが、高エネルギーになるに従い表面散乱の効果でオーバー余弦となることが初めて明らかになった(下記文献(1)に発表)。
(2)エネルギー分布
空気中で酸化された鉄表面をイオンビームでスパッターしていくにつれて、放出粒子のエネルギー分布から求まる表面結合エネルギーが酸化鉄の形成エネルギー(約10eV)から純鉄のそれ(4.3eV)に近づくこと、その変化は表面層6層のスパッターにより起ることを初めて明らかにした。またこのエネルギー分布測定により形成エネルギー測定法とし得ることを示した(下記文献(2)に発表)。
2.レーザー螢光法の適用領域の拡大
レーザー螢光法の適用領域は、使用できる可変波長光源の制約から可視及び近紫外に限られてきたが、波長変換方式により真空紫外域にまで拡張できることを示した。すなわち、水素原子検出に必要な光源を第三高調波発生により完成し(下記文献(3)に発表)、水素原子の検出を行った(下記文献(4)に発表)。また炭素に同調できる光源についても四波混合により得見通しを得た(下記文献(5)に発表)
|
