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固体表面における高速イオン励起2次電子の研究

Research Project

Project/Area Number 61212002
Research Category

Grant-in-Aid for Special Project Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research InstitutionUniversity of Tsukuba

Principal Investigator

工藤 博  筑大, 物理工学系, 講師 (40111364)

Project Period (FY) 1986
Project Status Completed (Fiscal Year 1986)
Budget Amount *help
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 1986: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Keywordsイオンビーム / オージェ電子 / チャネリング / シャドウイング / 電子阻止能
Research Abstract

単結晶ターゲットにチャネリング条件で入射した高速イオンビームはシャドゥイング効果のため表面近傍の原子しか電離することができない。すなわちチャネリング入射条件では均一で薄いターゲットによる測定と等価な結果を得ることができる。この現象を利用してオージェ電子の固体内阻止能の決定を行った。さらに従来不明であった現象、すなわちチャネリング条件での2次電子連続スペクトルの変化についてシャドウイング効果特有の規則性を見出し、表面領域の新しい研究手段としての2次電子分折の可能性を示した。具体的な実績の内容は次のとうりである。
1.低速電子の阻止能決定
本年度は酸化マグネシウム(MgO)の単結晶を用い、MgのKオージェ電子の阻止能値を2.1eV/【A!゜】を決定した。また測定技術の点から、MgOのような絶縁物に対して高速イオンが有利であることが判明した。すなわち高速イオンは飛程が長いため、飛程程度に薄い試料を用いればビームのチャージアップを避けることができる。その他重要な進歩として、オージェ電子の多重散乱による脱出軌道の変化を解析モデルにとり入れ阻止能決定法をより正確なものとした。
2.連続スペクトルの変化
従来チャネリング条件で2次電子が減少することは知られていたが、通常のスペクトロメータではエネルギー分析が困難であったため研究が進まなかった。我々は独自の低バックグランドスペクトロメーターにより、チャネリング入射における2次電子発生の抑制はシャドウイング効果による表面ターゲット原子数の実質的な減少に起因することが明らかになった。

Report

(1 results)
  • 1986 Annual Research Report
  • Research Products

    (1 results)

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All Publications (1 results)

  • [Publications] Hiroshi KUDO: Japanese Journal of Applied Physics. 25. 1751-1755 (1986)

    • Related Report
      1986 Annual Research Report

URL: 

Published: 1987-03-31   Modified: 2016-04-21  

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