表面顕微鏡法による表面の観察と解析

Research Project

Project/Area Number	62609511
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
Allocation Type	Single-year Grants
Research Institution	Tokyo Institute of Technology
Principal Investigator	八木克道東京工業大学, 理学部, 教授 (90016072)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	西川治東京工業大学, 総合理工学研究科, 教授 (10108235) 高柳邦夫東京工業大学, 理学部, 助教授 (80016162)
Project Period (FY)	1987
Project Status	Completed (Fiscal Year 1987)
Budget Amount *help	¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000) Fiscal Year 1987: ¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Keywords	表面顕微鏡 / 光電子顕微鏡 / シリコン表面 / アトムプローブ / STM / 反射電顕法 / 表面エレクトロマイグレーション
Research Abstract	本研究は, (1)電子, 光電子顕微鏡法の開発とその表面研究への応用, (2)STM型電子顕微鏡法による表面に局存した電子状態の観察, (3)FIMによる吸着膜の構造の観察の3つよりなる. それぞれ今年度は計画の年であるので, 今年度の実績は既存の研究装置による研究成果である. 八木らは, SiCIII)面に酸素をさらしたときの表面構造の変化を調べ, SiOの形成と界章によるくぼみ形成から表面拡散に関する知見を得た. またPt上に成長したAu層のコントラストを動力学回折理論を用いて解析した. その結果コントラストはPtPy間に比べてPt-Au層間の間隔が広いためであることが解った. 一方, 重点領域へ他の研究者との協力を得て表面エレクトロマイグレーションの反射電顕法による観察を行い, Auの場合5×1構造が電流と逆方向にしTuの場合5×1構造が電流の方向に移動するのが観察された. 高柳らは, 反射電顕法を用いて相変態, 吸着過程を調べた. 特にPdの^<83>構造はTuBt層となっていることをはじめて見い出した. 一方現在開発中のSTMについては原子しベルの分確能があることを確認している. 西川らはポリピロールの酸化のミクロプロセスをアトムプローブFIMで解析して新しい知見をえている.