新しい概念に基づくオージェスパッタ技術の開発基礎的アプローチ

• Project/Area Number: 62609516
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Institution: Nagoya Institute of Technology
• Principal Investigator: 奥山 文雄 名古屋工業大学, 工学部, 教授 (30024235)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 鈴木 昭二 名古屋工業大学, 工学部, 教務職員 (20115679) ; 杉江 紘 名古屋工業大学, 工学部, 助手 (40024327)
• Project Period (FY): 1987
• Project Status: Completed (Fiscal Year 1987)
• Budget Amount: ¥4,500,000 (Direct Cost: ¥4,500,000); Fiscal Year 1987: ¥4,500,000 (Direct Cost: ¥4,500,000)
• Keywords: スパッタリング / 表面分析

Research Abstract

昭和62年度における研究実施計画(1.質量分析計の装着及び調整, 2.実際測定, 3.不純物源の特定)は全て終了した. 参考までに, 図1に本補助金で購入の四重極質量分析計を, また図2には, 本装置によって記録された二次イオン質量スペクトル(ターゲット:Al)を示す. Alによるシグナルに加えて, 極微量ながらFe^+, Cr^+がスペクトル中にみられ, スパッタ時に, イオン銃の引き出し電極からFe, Crが放出されたことが示唆される. 63年度においては, この結果を踏まえて, 不純物の発生を極力抑えることのできる, 新型イオン銃の設計, 制作を試みる計画である.