窒化物および酸化物半導体の局所電子状態・光学特性に及ぼす弾性場の影響

• Project Area: Materials Science and Advanced Elecronics created by singularity
• Project/Area Number: 19H04531
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Review Section: Science and Engineering
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 木口 賢紀 東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (70311660)
• Project Period (FY): 2019-04-01 – 2021-03-31
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2020)
• Budget Amount: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000); Fiscal Year 2020: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000); Fiscal Year 2019: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
• Keywords: GaN / InGaN / 貫通転位 / STEM / α-In2O3 / 準安定相 / 転位芯 / 積層欠陥 / In2O3 / 転位 / 歪み / 電子顕微鏡 / Cu3N / 界面構造 / 格子欠陥 / Ga2O3 / 弾性場 / 量子井戸構造 / 電子状態

Outline of Research at the Start

本研究では、第1期公募研究で得られたInGaN単一量子井戸構造成果を発展させて、貫通転位、積層欠陥、ヘテロ界面の不整合歪みなどの結晶の非完全性がもたらす局所弾性場が、電子・光学デバイスの要である量子井戸構造に及ぼす影響を局所構造・電子状態やマクロな形態をマルチスケールで調べると共に、窒化物よりも結晶の非完全性の大きなGa2O3酸化物半導体における特異構造（貫通転位、双晶など）へ上記の研究手法を展開することによって、特異構造に付随した弾性場を活用した窒化物・酸化物半導体新機能発現・新デバイス創製のための「特異構造の結晶科学」の学術的な展開を目指す。

Outline of Annual Research Achievements

窒化物・酸化物半導体薄膜では、転位など格子欠陥やエピタキシャル成長に伴う残留歪みといった特異構造に付随する周期性や結合状態の乱れやそれらの空間的な分布状態は結晶成長や発光デバイスやパワーエレクトロニクスの性質に大きな影響を及ぼす。本研究では、貫通転位に代表される結晶の非完全性がもたらす局所弾性場が発光デバイスの要である量子井戸構造に及ぼす影響を局所構造・電子状態やマクロな形態をマルチスケールで調べ、非破壊3次元構造解析グループと相補的な立場から特異構造の解明に取り組んだ。
従来、In2O3はBixbyite相が安定相であり、気相法を利用してもサファイア基板上に準安定Corundum相のIn2O3薄膜を直接成長させることができず、バッファ層を必要とした。しかし、ミストCVD法を使って塩酸濃度を最適化することによって、バッファ層なしでもCorundum相単相をエピタキシャル成長することに成功し、収差補正STEM法により薄膜／基板間の半整合界面、ミスフィット転位の構造を原子レベルで明らかにし、結晶成長メカニズムについて検討した。
また、InGaNの結晶成長におけるGaNテンプレート相の極性や低温バッファ層の厚さが、貫通転位の形成機構の違い、N極性で問題となるヒロック構造の形成における貫通転位の影響を収差補正STEM法による平面・断面観察により明らかにした。特に、InGaN/GaN積層構造の平面STEM観察により貫通転位の転位芯構造を原子分解能で解明し、a転位、a+c転位, c転位の構造を明らかにした。
以上の様に、本研究では酸化物・窒化物ワイドギャップ半導体の結晶成長や組織形成に及ぼす転位や界面の構造を明らかにし、結晶成長における役割を検討した。

Research Progress Status

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Research Products

• [Int'l Joint Research] State University of New York(米国)
• [Journal Article] Electric‐Field‐Induced Ferroelectricity in 5%Y‐doped Hf0.5Zr0.5O2 : Transformation from the Paraelectric Tetragonal Phase to the Ferroelectric Orthorhombic Phase (2021)
  • Author(s): Shimizu Takao、Tashiro Yuki、Mimura Takanori、Kiguchi Takanori、Shiraishi Takahisa、Konnno Toyohiko J.、Sakata Osami、Funakubo Hiroshi
  • Journal Title: physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters Volume: on-line Issue: 5 Pages: 2000589-2000589
  • DOI: 10.1002/pssr.202000589
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Epitaxial growth mechanism of Pb(Zr,Ti)O₃ thin films on SrTiO₃ by chemical solution deposition via self-organized seed layer (2020)
  • Author(s): KIGUCHI Takanori、SHIMIZU Takumi、SHIRAISHI Takahisa、KONNO Toyohiko J.
  • Journal Title: Journal of the Ceramic Society of Japan Volume: 128 Issue: 8 Pages: 501-511
  • DOI: 10.2109/jcersj2.20027
  • NAID: 130007884008
  • ISSN: 1348-6535, 1882-0743
  • Year and Date: 2020-08-01
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] Interface reaction between PbTiO₃ epitaxial thin films and La-doped SrTiO₃ (001) substrates through edge dislocations induced by 90° domain formation (2020)
  • Author(s): SHIMIZU Takumi、KIGUCHI Takanori、SHIRAISHI Takahisa、KONNO Toyohiko J.
  • Journal Title: Journal of the Ceramic Society of Japan Volume: 128 Issue: 8 Pages: 492-500
  • DOI: 10.2109/jcersj2.20028
  • NAID: 130007884009
  • ISSN: 1348-6535, 1882-0743
  • Year and Date: 2020-08-01
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] Impact of hydrochloric acid on the epitaxial growth of In2O3 films on (0001)α-Al2O3 substrates by mist CVD (2020)
  • Author(s): T. Yamaguchi, S. Takahashi, T. Kiguchi, A. Sekiguchi, K. Kaneko, S. Fujita, H. Nagai, M. Sato, T. Onuma, and T. Honda
  • Journal Title: Applied Physics Express Volume: 13 Issue: 7 Pages: 0755041-4
  • DOI: 10.35848/1882-0786/ab9a90
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Epitaxial mist chemical vapor deposition growth and characterization of Cu3N films on (0001) α-Al2O3 substrates (2020)
  • Author(s): T. Yamaguchi, H. Nagai, T. Kiguchi, N. Wakabayashi, T. Igawa, T. Hitora, T. Onuma, T. Honda, and M. Sato
  • Journal Title: Applied Physics Express Volume: 13 Issue: 7 Pages: 0755051-5
  • DOI: 10.35848/1882-0786/ab9a8f
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Energy storage properties of epitaxially grown xCaZrO3(1－x)NaNbO3 thin films prepared with chemical solution deposition method (2020)
  • Author(s): T. Shiraishi, S. Suzuki, T. Kiguchi, T. J. Konno
  • Journal Title: Journal of Applied Physics Volume: 128 Issue: 4 Pages: 044102-044102
  • DOI: 10.1063/5.0004239
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] Structural and electrical characterization of hydrothermally-deposited piezoelectric (K,Na)(Nb,Ta)O3 thick films (2020)
  • Author(s): Takahisa Shiraishi, Yuta Muto, Yoshiharu Ito, Takanori Kiguchi, Kazuhisa Sato, Masahiko Njishijima, Hidehiro Yasuda, Hiroshi Funakubo, Toyohiko J. Konno
  • Journal Title: Journal of Materials Science Volume: 55 Issue: 21 Pages: 8829-8842
  • DOI: 10.1007/s10853-020-04663-x
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Enhanced photovoltaic effects in ferroelectric solid solution thin films with nanodomains (2020)
  • Author(s): Matsuo Hiroki、Noguchi Yuji、Miyayama Masaru、Kiguchi Takanori、Konno Toyohiko J.
  • Journal Title: Applied Physics Letters Volume: 116 Issue: 13 Pages: 132901-132901
  • DOI: 10.1063/1.5142880
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] Switchable third ScFeO3 polar ferromagnet with YMnO3-type structure (2020)
  • Author(s): Hamasaki Yosuke、Katayama Tsukasa、Yasui Shintaro、Shiraishi Takahisa、Akama Akihiro、Kiguchi Takanori、Taniyama Tomoyasu、Itoh Mitsuru
  • Journal Title: Journal of Materials Chemistry C Volume: 8 Issue: 13 Pages: 4447-4452
  • DOI: 10.1039/c9tc07006k
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Interface structure of Pb(Zr,Ti)O3/MgO(001) epitaxial thin film in early stage of Stranski-Krastanov growth mode (2019)
  • Author(s): Kiguchi Takanori、Kodama Yumiko、Shimizu Takumi、Shiraishi Takahisa、Wakiya Naoki、Konno Toyohiko J.
  • Journal Title: Japanese Journal of Applied Physics Volume: 58 Issue: SL Pages: SLLA08-SLLA08
  • DOI: 10.7567/1347-4065/ab3b13
  • NAID: 210000156954
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Influence of interfacial structure on propagating direction of small-angle grain boundaries during directional solidification of multicrystalline silicon (2019)
  • Author(s): Chuang Lu-Chung、Kiguchi Takanori、Kodama Yumiko、Maeda Kensaku、Shiga Keiji、Morito Haruhiko、Fujiwara Kozo
  • Journal Title: Scripta Materialia Volume: 172 Pages: 105-109
  • DOI: 10.1016/j.scriptamat.2019.07.018
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Formation of the orthorhombic phase in CeO2-HfO2 solid solution epitaxial thin films and their ferroelectric properties (2019)
  • Author(s): Shiraishi T.、Choi S.、Kiguchi T.、Shimizu T.、Funakubo H.、Konno T. J.
  • Journal Title: Applied Physics Letters Volume: 114 Issue: 23 Pages: 232902-232902
  • DOI: 10.1063/1.5097980
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Short range biaxial strain relief mechanism within epitaxially grown BiFeO3 (2019)
  • Author(s): Bae In-Tae、Yasui Shintaro、Ichinose Tomohiro、Itoh Mitsuru、Shiraishi Takahisa、Kiguchi Takanori、Naganuma Hiroshi
  • Journal Title: Scientific Reports Volume: 9 Issue: 1 Pages: 1-10
  • DOI: 10.1038/s41598-019-42998-x
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Presentation] 先端電子顕微鏡法を用いた強誘電体薄膜の材料組織解析 (2021)
  • Author(s): 木口賢紀
  • Organizer: 日本セラミックス協会 2021年年会
  • Invited
• [Presentation] GaN上GaInN膜成長初期のSi層挿入数に対する格子緩和過程の変化 (2021)
  • Author(s): 横山晴香, 山口智広, 佐々木拓生, 大野颯一朗, 木口賢紀, 比留川大輝, 藤川誠司, 高橋正光, 尾沼猛儀, 本田徹
  • Organizer: 第68回応用物理学会春季学術講演会
• [Presentation] TEMによるMist CVD法 (0001)α-Al2O3基板上α-In2O3の欠陥解析 (2021)
  • Author(s): 早川 優香, 大野 颯一朗, 山口 智広, 木口 賢紀, 高橋 昴, 横尾 浩和, 尾沼 猛儀, 本田 徹
  • Organizer: 第68回応用物理学会春季学術講演会
• [Presentation] In situ XRD RSM measurements in MBE growth of GaInN film with low‐temperature GaInN buffer layer (2021)
  • Author(s): T. Yamaguchi, T. Sasaki, T. Kiguchi, S. Ohno, H. Hirukawa, R. Yoshida, T. Onuma, T. Honda, M. Takahasi, T. Araki, Y. Nanishi
  • Organizer: The 8th Asian Conference on Crystal Growthand Crystal Technology（CGCT-8）
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Core structure of threading dislocations in GaN (2021)
  • Author(s): Takanori Kiguchi, Yumiko Kodama, Yuichiro Hayasaka, Tomoyuki Tanikawa, Toyohiko J. Konno
  • Organizer: The 8th Asian Conference on Crystal Growthand Crystal Technology（CGCT-8）
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Epitaxial mist chemical vapor deposition growth and characterization of α-In2O3 films on α-Al2O3 substrates (2021)
  • Author(s): T. Yamaguchi, T. Nagata, S. Takahashi, T. Kiguchi, A. Sekiguchi, T. Onuma, T. Honda, K. Goto, Y. Kumagai, K. Kaneko, S. Fujita
  • Organizer: The 8th Asian Conference on Crystal Growthand Crystal Technology（CGCT-8）
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 0.1CeO2-0.9HfO2 膜の電気特性および圧電特性調査 (2021)
  • Author(s): 横山晴香, 山口智広, 佐々木拓生, 大野颯一朗, 木口賢紀, 比留川大輝, 藤川誠司, 高橋正光, 尾沼猛儀, 本田徹
  • Organizer: 第68回応用物理学会春季学術講演会
• [Presentation] STEM-EELS法によるCSD法によるPb(Zr,Ti)O3エピタキシャル成長メカニズムの解明 (2021)
  • Author(s): 木口賢紀, 粟飯原雅矢, 渋谷直生, 白石貴久, 今野豊彦
  • Organizer: 第68回応用物理学会春季学術講演会
• [Presentation] Mist CVD Growth of group III sesquioxide semiconductors (2021)
  • Author(s): Tomohiro Yamaguchi, Oliver Bierwagen, Takanori Kiguchi, Yoshinao Kumagai
  • Organizer: Virtual Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Mist CVD法における(0001)α-Al2O3基板上α-In2O3成長に塩酸が与える影響 (2020)
  • Author(s): 高橋 昴, 山口 智広, 木口 賢紀, 関口 敦, 金子 健太郎, 藤田 静雄, 永井 祐己, 佐藤 光史, 尾沼 猛儀, 本田 徹
  • Organizer: 応用物理学会 結晶工学分科会・電子材料若手交流会(ISYSE) 主宰 第3回結晶工学×ISYSE合同研究会
• [Presentation] CSD法により堆積したPZT薄膜のエピタキシャル成長における前駆体の構造 (2020)
  • Author(s): 木口賢紀, 粟飯原雅矢, 渋谷直生, 白石貴久, 今野豊彦
  • Organizer: MRM Forum 2020
• [Presentation] CSD法により堆積したPZT薄膜前駆状態の解析 (2020)
  • Author(s): 木口賢紀, 粟飯原雅矢, 白石貴久, 今野豊彦
  • Organizer: 日本セラミックス協会電子材料部会第40回電子材料研究討論会
• [Presentation] GaInN/GaN成長時の格子緩和に対するSiアンチサーファクタントの効果 (2020)
  • Author(s): 横山晴香, 山口智広, 佐々木拓生, 大野颯一朗, 木口賢紀, 比留川大輝, 藤川誠司, 高橋正光, 尾沼猛儀, 本田徹
  • Organizer: 第 81回応用物理学会秋季学術講演会
• [Presentation] 基板がPMN-PTエピタキシャル薄膜の結晶構造 に及ぼす影響 (2020)
  • Author(s): 粟飯原 雅矢, 木口 賢紀, 白石 貴久, 今野 豊彦
  • Organizer: 第 81回応用物理学会秋季学術講演会
• [Presentation] 基板がPMN-PTエピタキシャル薄膜の結晶構造 に及ぼす影響 (2020)
  • Author(s): 粟飯原 雅矢, 木口 賢紀, 白石 貴久, 今野 豊彦
  • Organizer: 日本顕微鏡学会第76回学術講演会
• [Presentation] 熱処理によるアモルファス（Hf0.9Ce0.1）O2薄膜 の結晶相の変化 (2020)
  • Author(s): 白石 貴久, 木口 賢紀, 今野 豊彦
  • Organizer: 日本顕微鏡学会第76回学術講演会
• [Presentation] 化学溶液堆積法によるPZT薄膜エピタキシャル成長における前駆状態の解析 (2020)
  • Author(s): 木口賢紀, 清水匠, 粟飯原雅矢, 白石貴久, 今野豊彦
  • Organizer: 日本顕微鏡学会第76回学術講演会
• [Presentation] N極性InGaN量子井戸構造と貫通転位の弾性相互作用 (2020)
  • Author(s): 木口賢紀, 兒玉裕美子, 谷川智之, 白石貴久, 今野豊彦
  • Organizer: 日本セラミックス協会2020年年会
• [Presentation] 基板種に依存したPZT 薄膜のMPB 組織の変化 (2020)
  • Author(s): 木口賢紀, 清水匠, 白石貴久, 今野豊彦
  • Organizer: 日本セラミックス協会2020年年会
• [Presentation] (La0.3Sr0.7)(Al0.65Ta0.35)O3基板上にエピタキシャル成長させたBiFeO3膜の成長機構と強誘電体ドメイン構造 (2020)
  • Author(s): In-Tae Bae, 安井伸太郎, 一ノ瀬 智浩, 伊藤 満, 白石 貴久, 木口 賢紀, 永沼 博
  • Organizer: 第67回応用物理学会春季学術講演会
• [Presentation] ワイドギャップ材料における貫通転位と量子井戸構造の解析 (2020)
  • Author(s): 木口賢紀, 兒玉裕美子, 白石貴久, 今野豊彦, 谷川智之
  • Organizer: デバイス開発に資する微細構造解析 - 次世代エレクトロニクスを支える先端デバイス開発を目指して - 大阪大学 ナノテクロジー設備供用拠点 微細構造解析プラットフォーム 2019年度 第2回地域セミナー
  • Invited
• [Presentation] PZT薄膜のMPB組成域における微細組織に及ぼすミスフィット転位の影響 (2019)
  • Author(s): 清水匠, 粟飯原雅矢, 木口賢紀, 白石貴久, 今野 豊彦
  • Organizer: 2019年度 東北大学金属材料研究所 共同利用・共同研究ワークショップ 強誘電体関連物質の機能発現に関する構造科学の新展開
• [Presentation] Microstructural analysis using TEM in GaInN film grown by RF-MBE Onuma, T. Honda (2019)
  • Author(s): S. Ohno, H. Hirukawa, R. Yoshida, T. Yamaguchi, T. Kiguchi, H. Hashimoto, T. Onuma, T. Honda
  • Organizer: The 18th International Symposium on Advanced Technology (ISAT18)
• [Presentation] In Situ and Ex situ Studies on the Formation of Orthorhombic Phase in HfO2-Based Thin Films (2019)
  • Author(s): Takahisa Shiraishi, Takanori Kiguchi, Toyohiko J. Konno
  • Organizer: MRS 2019 Fall Meeting
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Structure and Electronic State of Misfit Strain Induced Morphotropic Phase Boundary Shift in Pb(Zr,Ti)O3 Epitaxial Thin Films on Various Substrate (2019)
  • Author(s): Takanori Kiguchi, Takumi Shimizu, Takahisa Shiraishi, Toyohiko J. Konno
  • Organizer: MRS 2019 Fall Meeting
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Invstrigation of Interface Structure in Multiferroic h-ScFeO3 Film (2019)
  • Author(s): Yosuke Hamasaki, Shintaro Yasui, Takahisa Shiraishi, Akihiro Akama, Takanori Kiguchi, Tomoyasu Taniyama, Mitsuru Itoh
  • Organizer: MRS 2019 Fall Meeting
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] PZT薄膜のMPB組成域における微細組織に及ぼす格子ミスマッチの影響 (2019)
  • Author(s): 清水匠, 粟飯原雅矢, 木口賢紀, 白石貴久, 今野豊彦
  • Organizer: 日本セラミックス協会第３９回電子材料研究討論会
• [Presentation] Effect of elastic field on domain structure of PZT thin films in MPB composition (2019)
  • Author(s): Takumi Shimizu, Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Toyohiko J Konno
  • Organizer: 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Interface structure in multiferroic YMnO3-type ScFeO3 film on perovskite electrode (2019)
  • Author(s): Yosuke Hamasaki, Shintaro Yasui, Takahisa Shiraishi, Akihiro Akama, Takanori Kiguchi, Tomoyasu Taniyama, Mitsuru Ito
  • Organizer: 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Nanodomain Structure of Ferroelectric HfO2-Based Epitaxial Thin Films (2019)
  • Author(s): Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo, Toyohiko J. Konno
  • Organizer: 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] PZT薄膜における組成相境界近傍の ドメイン構造に及ぼす弾性場の影響 (2019)
  • Author(s): 清水 匠, 木口 賢紀, 白石 貴久, 今野 豊彦
  • Organizer: 第80回応用物理学会 秋季学術講演会
• [Presentation] 電子エネルギー損失分光法によるPZT薄膜の結合状態の分析 (2019)
  • Author(s): 木口 賢紀, 清水 匠, 粟飯原 雅矢, 白石 貴久, 今野 豊彦
  • Organizer: 第80回応用物理学会 秋季学術講演会
• [Presentation] ヘテロエピタキシャルYMnO3型ScFeO3薄膜の界面構造 (2019)
  • Author(s): 浜嵜 容丞, 安井 伸太郎, 白石 貴久, 赤間 章裕, 木口 賢紀, 谷山 智康, 伊藤 満
  • Organizer: 第80回応用物理学会 秋季学術講演会
• [Presentation] Short range biaxial strain relief mechanism within epitaxially grown BiFeO3 (2019)
  • Author(s): In-Tae Bae, 安井 伸太郎, 一ノ瀬 智浩, 伊藤 満, 白石 貴久, 木口 賢紀, 永沼 博
  • Organizer: 第80回応用物理学会 秋季学術講演会
• [Presentation] Nanostructure Analyses of Hafnia-Based Ferroelectric Thin Films by Aberration-Corrected Electron Microscopy (2019)
  • Author(s): T. Kiguchi, T. Shiraishi, T. Mimura, T. Shimizu, H. Funakubo, T.J. Konno
  • Organizer: The 10th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing (PRICM10)
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] 強誘電体HfO2基薄膜の結晶相形成に与える熱処 理温度の影響 (2019)
  • Author(s): 白石 貴久, Choi Sujin, 木口 賢紀, 今野 豊彦
  • Organizer: 日本顕微鏡学会 第75回学術講演会
• [Presentation] STEM-EELS法によるHfO2薄膜の結晶相・配向性の評価 (2019)
  • Author(s): 木口 賢紀, 白石 貴久, 三村 和仙, 清水 荘雄, 舟窪 浩, 今野 豊彦
  • Organizer: 日本顕微鏡学会 第75回学術講演会
• [Presentation] PbTiO3薄膜の界面急峻性に及ぼす導電性SrTiO3 基板の影響 (2019)
  • Author(s): 木口 賢紀, 清水 匠, 白石 貴久, 今野 豊彦
  • Organizer: 日本顕微鏡学会 第75回学術講演会
• [Presentation] PZTエピタキシャル薄膜の組成相境界近傍の微細構造 (2019)
  • Author(s): 木口 賢紀, 清水 匠, 白石 貴久, 今野 豊彦
  • Organizer: 第36回強誘電体応用会議 (FMA36)
• [Book] エレクトロニクス用セラミックスの応用、開発と評価手法, 第12章 セラミックスの特性評価手法、状態観察手法、第4節 電子セラミックスの微細組織，組成，電子状態の評価 (2020)
  • Author(s): 木口賢紀（共著）
  • Publisher: 技術情報協会
  • ISBN: 9784861047985