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微粒子プラズマナノ界面における化学反応の解析と浮遊型熱センサの開発

Publicly Offered Research

Project AreaCreation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions
Project/Area Number 24110710
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section Science and Engineering
Research InstitutionKyoto Institute of Technology

Principal Investigator

高橋 和生  京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 准教授 (50335189)

Project Period (FY) 2012-04-01 – 2014-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2013)
Budget Amount *help
¥7,800,000 (Direct Cost: ¥6,000,000、Indirect Cost: ¥1,800,000)
Fiscal Year 2013: ¥3,900,000 (Direct Cost: ¥3,000,000、Indirect Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2012: ¥3,900,000 (Direct Cost: ¥3,000,000、Indirect Cost: ¥900,000)
Keywordsナノ界面プラズマ / 微粒子プラズマ / プラズマ / 温度計測 / プラズマプロセス
Research Abstract

現在、カーボンナノチューブやナノダイヤモンドに代表されるナノカーボンが科学分野並びに産業分野において注目されている。最も期待されているその製造法が低温で形成できるプラズマを用いた手法である。特に、プラズマにおいては、気相においてナノカーボンが大量に発生することが知られており(微粒子プラズマ)、プラズマとナノ物質との界面における化学反応を明らかにすることによって、ナノカーボン作製プロセスの著しい向上に期待できる。通常高温環境が必要とされる物質が形成されることについては、プラズマが電子及びイオンの温度について非平衡であることが関係すると考えられる。本研究では、プラズマ中の微結晶ナノカーボン(微粒子)の形成機構を解析するために、熱的非平衡環境であるプラズマとナノカーボンとの界面における熱ダイナミクス(微粒子の表面温度と運動エネルギーとの関係)を明らかにすることを目的とする。
蛍光の観測により測定された微粒子の表面温度を、イオン密度、電子温度およびガス温度の測定値により算出することを試みた。ここで仮定したモデルでは、微粒子の表面温度は、イオンの再結合反応及び運動量移行による加熱と放射及び気体への熱移動による冷却とのバランスで決定されるというものである。温度の測定値は計算値の誤差の範囲に収まり、微粒子の加熱機構はこのモデルで説明できることを確認した。
微粒子の温度を説明するためには、正確にそれ自体を測定することと、正確にイオン密度と電子温度、ガス温度を測定する必要がある。微粒子プラズマにおいて、これらのプラズマパラメータを測定された例は少なく、今回の手法についてその妥当性を精密に検証する必要がある。それを踏まえ、今回仮定したモデルを再度吟味し、あらゆるサイズの微粒子の加熱機構についてもそのモデルを確定し、プラズマでナノ粒子が生成されることに関する知見を今後得たい。

Current Status of Research Progress
Reason

25年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

25年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2013 Annual Research Report
  • 2012 Annual Research Report
  • Research Products

    (13 results)

All 2013 2012 Other

All Presentation (13 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Presentation] 微粒子プラズマにおけるダブルプローブを用いたイオン密度と電子温度の測定2013

    • Author(s)
      高橋和生
    • Organizer
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学
    • Year and Date
      2013-03-29
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] 微粒子プラズマにおける微粒子表面とガス分子の温度の測定2013

    • Author(s)
      高橋和生
    • Organizer
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • Place of Presentation
      浜松
    • Year and Date
      2013-01-22
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] Measurements with Probes in Dusty (Fine Particle or Dusty) Plasmas for Ideas of a New Apparatus on KIBO2012

    • Author(s)
      高橋和生
    • Organizer
      13th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • Place of Presentation
      核融合科学研究所
    • Year and Date
      2012-12-07
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 大気球を利用した微粒子プラズマ実験構想2012

    • Author(s)
      高橋和生, 東辻浩夫, 足立聡
    • Organizer
      大気球シンポジウム
    • Place of Presentation
      宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所相模原キャンパス
    • Year and Date
      2012-10-17
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] Ion impact heating on surface of dust particles in plasmas2012

    • Author(s)
      高橋和生
    • Organizer
      11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 25th Symposium on Plasma Science for Materials
    • Place of Presentation
      京都
    • Year and Date
      2012-10-02
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] 微粒子プラズマにおける微粒子の輸送解析と誘導制御2012

    • Author(s)
      高橋和生
    • Organizer
      第73 回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      愛媛大学・松山大学
    • Year and Date
      2012-09-13
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] Application of guided particles in dusty plasmas for carbon nanotube syntheses2012

    • Author(s)
      高橋和生, 美山遼, 黒田将成
    • Organizer
      39th European Physical Society Conference on Plasma Physics joint with the 16th International Congress on Plasma Physics
    • Place of Presentation
      Stockholm, Sweden
    • Year and Date
      2012-07-04
    • Related Report
      2012 Annual Research Report
  • [Presentation] Temperature on Surface of Dust Particles Determined by Spectroscopic Method and Verified by Measurement of Ion Density and Electron Temperature in RF Plasmas

    • Author(s)
      Kazuo Takahashi
    • Organizer
      8th International Conference on Reactive Plasmas/31st Symposium on Plasma Processing
    • Place of Presentation
      福岡国際会議場
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] Growth of Carbon Nanotubes on Surface of Metal Particles in C4F8 – added CH4/H2 Plasmas (II)

    • Author(s)
      Masanari Kuroda, Kazuo Takahashi, Koji Nishio
    • Organizer
      8th International Conference on Reactive Plasmas/31st Symposium on Plasma Processing
    • Place of Presentation
      福岡国際会議場
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] Carbon nanotubes growing on metal particles in fluorocarbon plasmas

    • Author(s)
      Masanari Kuroda, Kazuo Takahashi, Koji Nishio
    • Organizer
      14th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • Place of Presentation
      核融合科学研究所
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] Growth of sputter-deposited metal nanoparticles on ionic liquids

    • Author(s)
      Tetsuya Kato, Kazuo Takahashi, Koji Nishio
    • Organizer
      14th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • Place of Presentation
      核融合科学研究所
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] Temperature on Surface of Dust Particles in Plasmas, 14th Workshop on Fine Particle Plasmas

    • Author(s)
      Kazuo Takahashi
    • Organizer
      14th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • Place of Presentation
      核融合科学研究所
    • Related Report
      2013 Annual Research Report
  • [Presentation] Measurement of ion density and electron temperature determining temperature on dust surface in PK-3 plus

    • Author(s)
      Kazuo Takahashi
    • Organizer
      International Symposium Plasma Crystals in Space - a Russian-German Program
    • Place of Presentation
      Presidium of the Russian Academy of Sciences, Moscow
    • Related Report
      2013 Annual Research Report

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Published: 2013-05-15   Modified: 2019-07-29  

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