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ナノ加圧法を用いた巨大格子歪み導入による面内電子伝導制御とデバイス応用

Publicly Offered Research

Project AreaScience of Atomic Layer Systems
Project/Area Number 26107506
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section Science and Engineering
Research InstitutionUniversity of Tsukuba

Principal Investigator

藤田 淳一  筑波大学, 数理物質系, 教授 (10361320)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2016-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2015)
Budget Amount *help
¥7,020,000 (Direct Cost: ¥5,400,000、Indirect Cost: ¥1,620,000)
Fiscal Year 2015: ¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
Fiscal Year 2014: ¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
Keywordsグラフェン / 加圧 / プローブ / ヤング率 / 電子伝導 / 吸着水 / 表面吸着水 / インデント / 弾性変形 / AFM
Outline of Annual Research Achievements

AFM探針をナノインデンターとして用い、2次元層状物質グラフェンに対するナノスケールで局所加圧を行い、面に対して圧力を加えていくと、約0.1GPa程度から変形し始める。その後の圧力増加に伴い、変形量は約0.2nm程度で飽和する。一方で、厚いグラフェン(25~30層程度)の場合は圧力に比例して変形量も大きくなっていった。多層グラフェンに対し、約3.5 GPaの圧力を加えると、0.55 nmの変形が見られ、全ての層間が均一に縮んでいると仮定すると1層あたり約0.022 nm層間が縮むと推定される。これは静水圧印可の実験による層間距離の変化率が約6%との報告とほぼ同一の値である。
単層グラフェンの弾性力を評価している中で、グラフェン面内に特異的に変形量が小さな部分が現れた。すなわち局所的に非常硬い領域が形成されていることになる。この局所的な硬い領域は、厚みのあるグラフェンでは観測されないことから、基板表面とグラフェンとの間に閉じ込められた表面吸着水である可能性が高い。基板表面をHMDSによる疎水領域を意図的に形成し、親水領域との比較を行った結果、親水域表面は特異的に変形量が小さな涼気すなわち非常に硬い領域が出現し、疎水性の基板では現れない。つまり親水性基板表面ではた大気中の水分子が吸着し、特異的な高硬度領域を形成したと考えられる。
さらに加圧に伴うグラフェン面内の電子伝導特性をFETチャネル特性として評価した。グラフェン面への加圧に伴い、FET特性はp型にシフトし、同時にコンダクタンスの低下が観測された。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2015 Annual Research Report
  • 2014 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2015 2014 Other

All Int'l Joint Research (1 results) Journal Article (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 4 results,  Acknowledgement Compliant: 4 results) Presentation (5 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results)

  • [Int'l Joint Research] Taiwan National University(Taiwan)

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Journal Article] Direct synthesis of large area graphene on insulating substrate by gallium vaporassisted chemical vapor deposition2015

    • Author(s)
      K. Murakami, S. Tanaka, A. Hirukawa, T. Hiyama, T. Kuwajima, E. Kano, M. Takeguchi, and J. Fujita
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 106 Issue: 8 Pages: 093112-093112

    • DOI

      10.1063/1.4942885

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Low-temperature growth of graphene using interfacial catalysis of molten gallium and diluted methane chemical vapor deposition2015

    • Author(s)
      T. Hiyama, K. Murakami, T. Kuwajima, M. Takeguchi, and J. Fujita
    • Journal Title

      Appl. Phys. Express

      Volume: 8 Issue: 9 Pages: 095102-095102

    • DOI

      10.7567/apex.8.095102

    • NAID

      210000137654

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Direct synthesis of large area graphene on insulating substrate by gallium vaporassisted chemical vapor deposition2015

    • Author(s)
      K. Murakami, S. Tanaka, A. Hirukawa, T. Hiyama, T. Kuwajima, E. Kano, M. Takeguchi, and J. Fujita
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 106 Issue: 9 Pages: 093112-093112

    • DOI

      10.1063/1.4914114

    • Related Report
      2015 Annual Research Report 2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] In-situ visualization of local magnetic field using low energy electron beam in scanning electron microscope2014

    • Author(s)
      K. Yoshida, K. Murakami, and J. Fujita
    • Journal Title

      Jornal of Vacuum science and technology B

      Volume: 32 Issue: 6

    • DOI

      10.1116/1.4897504

    • NAID

      120007136532

    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] Nanoscale characterization of the elastic force of graphene by using force curve mapping with an atomic force microscope2015

    • Author(s)
      K. Murakami, T. Igari, and J. Fujita
    • Organizer
      RPGR2015
    • Place of Presentation
      Melbourne, Australia
    • Year and Date
      2015-10-25
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Low-temperature two-step graphene growth using interfacial CVD with molten gallium2015

    • Author(s)
      A. Hirukawa, T. Kuwajima, T. Hiyama, S. Enomoto, N. Ozawa, K. Murakami, and J. Fujita
    • Organizer
      RPGR2015
    • Place of Presentation
      Melbourne, Australia
    • Year and Date
      2015-10-25
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Nanoscale evaluation of elastic force of graphene by atomic force microscopy2015

    • Author(s)
      T. Igari,K. Murakami, and J. Fujita
    • Organizer
      NT15
    • Place of Presentation
      Nagoya, Aichi, Japan
    • Year and Date
      2015-06-28
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] CVD synthesis of high-quality graphene using liquid gallium catalyst at low temperature2015

    • Author(s)
      T. Kuwajima, T. Hiyama, K. Murakami, M. Takeguchi, and J. Fujita
    • Organizer
      NT15
    • Place of Presentation
      Nagoya, Aichi, Japan
    • Year and Date
      2015-06-28
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] AFMを用いたナノスケールでのグラフェンの弾性力評価2015

    • Author(s)
      AFMを用いたナノスケールでのグラフェンの弾性力評価
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • Related Report
      2014 Annual Research Report

URL: 

Published: 2014-04-04   Modified: 2022-03-01  

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