2013 Fiscal Year Annual Research Report
| Project Area | Creation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions |
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| Project/Area Number |
21110001
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
白谷 正治 九州大学, システム情報科学研究科(研究院, 教授 (90206293)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
寺嶋 和夫 東京大学, 新領域創成科学研究科, 教授 (30176911)
白藤 立 大阪市立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10235757)
佐々木 浩一 北海道大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50235248)
伊藤 昌文 名城大学, 理工学部, 教授 (10232472)
杤久保 文嘉 首都大学東京, 理工学研究科, 教授 (90244417)
斧 高一 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30311731)
後藤 元信 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80170471)
永津 雅章 静岡大学, その他の研究科, 教授 (20155948)
小松 正二郎 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他 (60183810)
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| Project Period (FY) |
2009-07-23 – 2014-03-31
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| Keywords | プラズマ局所反応場 / 相互作用ゆらぎ / ナノ界面制御 / ボトムアッププロセス / トップダウンプロセス / プラズマナノテクノロジー |
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| Research Abstract |
プラズマナノテクノロジーでは，プラズマと材料のナノ界面における相互作用が本質的に重要である．本研究では，界面がナノサイズに縮小することにより顕在化する特徴に焦点を絞り，プラズマとナノ界面の相互作用の法則・原理・機構を解明し，新しい学術基盤の体系化を進めた．また，界面サイズ縮小で顕著となる相互作用の揺らぎの抑制法と増幅法の確立と，揺らぎの無い超高精度トップダウンプロセスと高度に制御された自己組織化ボトムアッププロセスの実現を目的として研究を推進した．本研究では，領域内外の研究グループの連携を通して，上述の研究を発展させてきた．
平成25年度は，計画研究・公募研究の班を超えた領域内の連携を強化した．連携によって得られた成果の代表例は，以下の通りである．
１．トップダウンプロセスにおいては，原子分子スケールからナノスケールまでのモデリング・シミュレーション，計測，プロセスを相補的に用いて研究を進めることにより，プラズマプロセス中の揺らぎの解析手法を確立し，従来に無い高精度なエッチングプロセスを実現することに成功した．
２．ボトムアッププロセスにおいては，プラズマボンドエンジニアリングによるコアシェルナノ粒子の高精度制御手法の確立と，それに基づくアミノ基修飾磁気微粒子作製とインフルエンザウイルスの超高感度検出への応用を実現した．
領域内の研究連携により得られた成果についてJapanese Journal of Applied PhysicsのSelected Topics of Applied Physics特集号が組まれるとともに，Institute of PhysicsのIOP Selectに選出される論文があるなど，注目を集めている．
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| Current Status of Research Progress |
Reason
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(20 results)
