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2020 Fiscal Year Annual Research Report

Interface control of heterojunctions including singularity structures for advanced electron devices

Planned Research

Project AreaMaterials Science and Advanced Elecronics created by singularity
Project/Area Number 16H06421
Research InstitutionHokkaido University

Principal Investigator

橋詰 保  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 特任教授 (80149898)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 赤澤 正道  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 准教授 (30212400)
佐藤 威友  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 准教授 (50343009)
Project Period (FY) 2016-06-30 – 2021-03-31
KeywordsGaN / AlGaN / 異種接合 / C-V / 界面準位 / MOS / 電気化学エッチング
Outline of Annual Research Achievements

種々の特異構造を内包するGaN系異種接合界面の電気的評価を行い、化学的・構造的・光学的評価と連携させて電子捕獲準位の成因を理解し、混晶異種接合の界面制御に立脚した新機能素子の実現に貢献する。本年度の主な成果を以下にまとめる。

1)分極効果の出現しないm面GaNに原子層堆積法でAl2O3を形成し、MOS構造の界面特性を詳細に評価した。Al2O3堆積直後の状態においても、界面準位密度は比較的低い値を示した。ゲート電極形成後の低温熱処理(PMA処理:300℃)により、界面準位密度は1e10 /cm2/eV台の前半まで低下した。これらの特性は、分極効果のあるc面GaN MOS構造より優れており、m面GaN表面のGa-Nダイマーに基づく表面ボンドモデルで説明可能であることを明らかにした。
2)ペルオキソ硫酸カリウム (K2S2O8)を利用する光電気化学エッチングを通電電極無しのAlGaN/GaNヘテロ構造に適用し、リセスゲート構造のMOS-HEMTを作製した。良好な電流-電圧特性とリセスによるしきい値シフトが観測された。また、しきい値電圧の分散値は20mV以内であり、極めて安定なしきい値電圧制御が可能になった。AlGaN層の膜厚が4.7nmで自動的にエッチング停止することを見出し、しきい値電圧の安定化に寄与しているが明らかになった。
3)高誘電率と化学的安定性を同時に期待できるハフニウム・シリケート (HfSiOx)を絶縁ゲートとしたAlGaN/GaN HEMTを作製した。比較的高い比誘電率 (13.0)を反映した相互コンダクタンスが観測され、また150℃においても、しきい値電圧変動が極めて小さなI-V特性が観測された。さらに、MOSダイオード構造の容量-電圧特性の詳細評価より、HfSiOx/AlGaN界面の電子捕獲準位密度が1e12 /cm2/eV以下であることを明らかにした。

Research Progress Status

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (21 results)

All 2021 2020 2019 Other

All Journal Article (6 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 6 results,  Open Access: 3 results) Presentation (13 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results,  Invited: 3 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Interface characterization of Al2O3/m-plane GaN structure2021

    • Author(s)
      Kaneki Shota、Hashizume Tamotsu
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 11 Pages: 015301~015301

    • DOI

      10.1063/5.0031232

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Controlling surface/interface states in GaN-based transistors: Surface model, insulated gate, and surface passivation2021

    • Author(s)
      Asubar Joel T.、Yatabe Zenji、Gregusova Dagmar、Hashizume Tamotsu
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 129 Pages: 121102~121102

    • DOI

      10.1063/5.0039564

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Gate controllability of HfSiOx/AlGaN/GaN MOS high-electron-mobility transistor2020

    • Author(s)
      Ochi Ryota、Maeda Erika、Nabatame Toshihide、Shiozaki Koji、Sato Taketomo、Hashizume Tamotsu
    • Journal Title

      AIP Advances

      Volume: 10 Pages: 065215~065215

    • DOI

      10.1063/5.0012687

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Effects of surface treatment on Fermi level pinning at metal/GaN interfaces formed on homoepitaxial GaN layers2020

    • Author(s)
      Isobe Kazuki、Akazawa Masamichi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 59 Pages: 046506~046506

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8024

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Depth profiling of surface damage in n-type GaN induced by inductively coupled plasma reactive ion etching using photo-electrochemical techniques2020

    • Author(s)
      Yamada Shinji、Takeda Kentaro、Toguchi Masachika、Sakurai Hideki、Nakamura Toshiyuki、Suda Jun、Kachi Tetsu、Sato Taketomo
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 13 Pages: 106505~106505

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abb787

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Analysis of simultaneous occurrence of shallow surface Fermi level pinning and deep depletion in MOS diode with Mg-ion-implanted GaN before activation annealing2020

    • Author(s)
      Akazawa Masamichi、Kamoshida Ryo
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 59 Pages: 096502~096502

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abac41

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] HfSiOx-gate GaN MOS-HEMTs for RF power transistor2021

    • Author(s)
      T. Hashizume, R. Ochi, E. Maeda, T. Nabatame, K. Shiozaki and T. Sato
    • Organizer
      Society of Photographic Instrumentation Engineers (SPIE), Photonics West 2021, Gallium Nitride Materials and Devices XVI
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Interface properties of Al2O3-based MOS structures on m-plane GaN2021

    • Author(s)
      T. Hashizume and S. Kaneki
    • Organizer
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Precise control in threshold voltage of AlGaN/GaN HEMTs utilizing a photoelectrochemical (PEC) etching2021

    • Author(s)
      T. Sato, M. Toguchi, K. Itoh, T. Hashizume
    • Organizer
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] A Defect Level Generated in GaN by High-Temperature Annealing with AlN Encapsulation2021

    • Author(s)
      M. Akazawa, Y. Tamamura and S. Murai
    • Organizer
      13th International Symposium on Advanced Science and its Appliaction for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasam2021/IC-PLANTS2021)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] HfSiOxゲート AlGaN/GaN HEMTsのDC特性とMOS界面評価2021

    • Author(s)
      越智 亮太、前田 瑛里香、生田目 俊秀、塩崎 宏司、橋詰 保
    • Organizer
      電子情報通信学会電子デバイス研究会
  • [Presentation] 無極性面に形成したGaN MOS界面の特性2021

    • Author(s)
      橋詰 保
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] コンタクトレス光電気化学エッチングによるリセスゲートAlGaN/GaN HEMT の作製2021

    • Author(s)
      渡久地政周,三輪和希,堀切文正,福原昇,成田好伸,吉田丈洋,佐藤威友
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 光電気化学エッチング法を用いたAlGaInN/AlGaNリセスゲートHFETの作製2021

    • Author(s)
      伊藤滉朔,小松裕斗,渡久地政周,井上暁喜,三好実人,佐藤威友
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Photo-Electrochemical Etching and Porosification of III-Nitride Semiconductors2020

    • Author(s)
      T. Sato, and M. Toguchi
    • Organizer
      2020 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (PRiME 2020)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Impact of Cap-Layer Materials Used in Long-Term Low-Temperature Annealing on Electrical Properties of Mg-Ion Implanted GaN2020

    • Author(s)
      M. Akazawa, S. Murai, R. Kamoshida, E. Wu, and T. Kachi
    • Organizer
      62nd Electronic Materials Conference (EMC2020)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fabrication of Recessed-Gate AlGaN/GaN HEMTs Utilizing Contactless Photo-Electrochemical (CLPEC) Etching2020

    • Author(s)
      M. Toguchi, K. Miwa, F. Horikiri, N. Fukuhara, Y. Narita, O. Ichikawa, R. Isono, T. Tanaka, and T. Sato
    • Organizer
      2020 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (PRiME 2020)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] HfSiOxゲート AlGaN/GaN MOS-HEMTのゲート制御性2020

    • Author(s)
      越智 亮太、前田 瑛里香、生田目 俊秀、塩崎 宏司、橋詰 保
    • Organizer
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] Mgイオン注入GaNに対する低温熱処理の効果における表面保護膜材料依存性2020

    • Author(s)
      村井駿太、呉 恩誠,赤澤 正道, 加地 徹
    • Organizer
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Remarks] 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター

    • URL

      http:// www.rciqe.hokudai.ac.jp

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 構造体の製造方法と製造装置および中間構造体2019

    • Inventor(s)
      堀切文正,福原昇,佐藤威友,渡久地政周
    • Industrial Property Rights Holder
      堀切文正,福原昇,佐藤威友,渡久地政周
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      6694102

URL: 

Published: 2021-12-27  

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