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2018 Fiscal Year Annual Research Report

Multiscale characterization of singularity structures and behaviors thereof

Planned Research

Project AreaMaterials Science and Advanced Elecronics created by singularity
Project/Area Number 16H06423
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

酒井 朗  大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (20314031)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 今井 康彦  公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 主幹研究員 (30416375)
Project Period (FY) 2016-06-30 – 2021-03-31
Keywords逆圧電効果 / 時分割パルス放射光回折 / ポンプ&プローブ計測 / ナノビームX線回折 / 3次元逆格子マッピング / 結晶性断層マッピング解析 / 転位 / Ptワイヤプロファイラ
Outline of Annual Research Achievements

時分割パルス放射光回折による結晶中特異構造の電場応答観測にあたり、前年度の予備的測定を基に、ポンプ&プローブ計測を行った。これは、電場印加による結晶・デバイスの構造変化の計測にあたって、SPring-8放射光パルスと同期させて、デバイスにパルス電圧を印加し、かつ、放射光パルスに対して印加電圧の位相を自在にシフトさせて、電場応答のその場観測を行う方法である。今回は、AlGaN/GaN系高電子移動度トランジスタ(HEMT)を測定対象とし、ゲート電圧印加下の逆圧電効果による格子変形をその場定量評価した。種々のゲート電圧印加条件の下でAlGaNおよびGaNの対称(0004)面に対する2次元逆格子マッピングを行った結果、負電圧印加下では格子定数が大きく変化するのに対し、正電圧印加下ではほとんど変化しなかった。バンド計算によれば、負電圧印加でAlGaN層中に電界が生じ、正電圧ではほとんど生じないこと、また、印加した負電圧から推定される格子歪がAlGaNの圧電定数から見積もられる歪と同じオーダーの値であることから、逆圧電効果によるAlGaN層の格子変形のその場観測に成功したといえる。
一方、前年度までに開発したナノビームX線回折(nanoXRD)による3次元逆格子マッピング分析法と結晶性断層マッピング解析法を駆使し、特異構造制御型半導体膜結晶の評価を継続した。今回は、特に窒化物半導体以外の材料系(高Ge組成SiGe/組成傾斜SiGe/Si積層構造)に本手法を適用し、同積層構造における結晶深さ方向の局所的な格子面構造の変遷を面内分布と共にnanoXRDにより評価した。この結果から、表層に向かって格子面傾斜の面内分布が特定方向に揃っていく様子の観測に成功し、組成傾斜層中の特異構造が、表面の高Ge組成SiGe層に与える結晶学的効果が明らかになった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

当該年度は、前年度までに開発した、放射光X線パルスと同期した電圧を試料に印加するポンプ&プローブ法を、実デバイスであるAlGaN/GaN HEMTに適用することで、逆圧電効果によるAlGaNバリア層の格子変形応答の観測に成功した。AlGaNの圧電定数は通常の圧電材料であるPZT等に比べて2桁近く小さい値であり、電圧印加に応答する格子変形の検出は、当初よりチャレンジングな課題であると予想された。これに対して、SPring-8における回折波検出計の改善、その場観測のための種々の電子・電気計測機のセットアップの最適化、デバイスサンプル構造の最適化(ゲート、ソース/ドレインサイズ、電圧印加用配線のレイアウト等)を工夫することによって、デバイス動作下の状態に極めて近い形で、逆圧電効果を観測することができた。格子構造を直接評価できる回折現象で窒化物半導体デバイス中の逆圧電効果による格子変形を捉えたのは、世界初である。また、前年度より継続している3次元逆格子マッピングおよびそれを活用した結晶性断層マッピング解析も、適用できる材料系を拡張している。以上より、本年度は当初の計画以上に進展しているといえる。

Strategy for Future Research Activity

これまでに半導体結晶中の結晶成長に関連して導入された格子欠陥やナノボイド等を特異構造として、それらの構造解析評価を行ってきた。今後は、それらに加えて、圧電分極を特異構造として捉え、窒化物半導体デバイスにおける電場応答挙動を解析していく。放射光を用いることの主なメリットは、ナノメートルサイズの入射X線ビームとナノ秒スケールの時間分解能である。前者はこれまでにnanoXRDとして利用してきたため、このメリットを活かして、特に、位置依存nanoXRDを用いて、AlGaNバリア層内に存在する種々の格子欠陥箇所やゲート電極のドレイン端等における格子変形挙動に着目し、特異構造である圧電分極構造に及ぼす他の特異構造(転位等)の影響を調べる。後者については、パルス幅60psのシングルバンチを利用して、ナノ秒オーダーの時分割計測を行い、ゲート電圧印加に伴って変化するAlGaNバリア層の格子面間隔・傾斜・回転のダイナミクスを捉えていく。それにより、圧電分極に関わる特異構造の構造相関および機能相関を探索する。
一方、nanoXRDによる3次元逆格子マッピング分析法と結晶性断層マッピング解析法については、当該年度までに立ち上げてきたPtワイヤプロファイラを用いた回折波選択に関わる要素技術をさらにブラッシュアップする。それにより、領域内の他グループや他の研究機関より供給される特異構造制御型窒化物結晶・デバイスおよびSiGe等のIV族半導体結晶特異構造を含むあらゆる結晶に適用できる方法へと拡張させる。

  • Research Products

    (27 results)

All 2019 2018 Other

All Int'l Joint Research (1 results) Journal Article (8 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 8 results,  Open Access: 1 results) Presentation (18 results) (of which Int'l Joint Research: 8 results,  Invited: 5 results)

  • [Int'l Joint Research] imec(ベルギー)

    • Country Name
      BELGIUM
    • Counterpart Institution
      imec
  • [Journal Article] Current status of nanobeam x-ray diffraction station at SPring-82019

    • Author(s)
      Imai Yasuhiko、Sumitani Kazushi、Kimura Shigeru
    • Journal Title

      AIP Conference Proceedings

      Volume: 2054 Pages: 050004-1~6

    • DOI

      10.1063/1.5084622

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Depth-resolved analysis of lattice distortions in high-Ge-content SiGe/compositionally graded SiGe films using nanobeam x-ray diffraction2018

    • Author(s)
      Shida Kazuki、Takeuchi Shotaro、Tohei Tetsuya、Imai Yasuhiko、Kimura Shigeru、Schulze Andreas、Caymax Matty、Sakai Akira
    • Journal Title

      Semiconductor Science and Technology

      Volume: 33 Pages: 124005~124005

    • DOI

      10.1088/1361-6641/aae6d9

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Facile Synthesis Route of Au-Ag Nanostructures Soaked in PEG2018

    • Author(s)
      Fodjo Essy Kouadio、Canlier Ali、Kong Cong、Yurtsever Ayhan、Guillaume Pohan Lemeyonouin Aliou、Patrice Fato Tano、Abe Masayuki、Tohei Tetsuya、Sakai Akira
    • Journal Title

      Advances in Nanoparticles

      Volume: 07 Pages: 37~45

    • DOI

      10.4236/anp.2018.72004

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Compound Refractive Lens Optics for Microbeam X-ray Diffraction Measurements at BL13XU in SPring-82018

    • Author(s)
      Sumitani Kazushi、Imai Yasuhiko、Kimura Shigeru
    • Journal Title

      Microscopy and Microanalysis

      Volume: 24 Pages: 306~309

    • DOI

      10.1017/S1431927618013855

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Development of compound refractive lenses made of quartz glass designed for microdiffraction system at BL13XU in SPring-82018

    • Author(s)
      Sumitani K.、Imai Y.、Kimura S.
    • Journal Title

      Journal of Instrumentation

      Volume: 13 Pages: C09002~C09002

    • DOI

      10.1088/1748-0221/13/09/C09002

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Time response demonstration of in situ lattice deformation under an applied electric field by synchrotron-based time-resolved X-ray diffraction in polar-axis-oriented epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 film2018

    • Author(s)
      Sato Tomoya、Ichinose Daichi、Oshima Naoya、Mimura Takanori、Nemoto Yuichi、Shimizu Takao、Imai Yasuhiko、Uchida Hiroshi、Sakata Osami、Funakubo Hiroshi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 57 Pages: 0902B8~0902B8

    • DOI

      10.7567/JJAP.57.0902B8

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Domain Switching by Applied Electric Field in (001) and (111)-epitaxial (K<inf>0.5</inf>Na<inf>0.5</inf>)NbO<inf>3</inf>Films2018

    • Author(s)
      Kawano M.、Yamada T.、Matsuo S.、Yoshino M.、Nagasaki T.、Sakata O.、Imai Y.
    • Journal Title

      Proceedings of 2018 IEEE ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP 2018)

      Volume: なし Pages: 1-3

    • DOI

      10.1109/ISAF.2018.8463311

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 半導体結晶中特異構造の3次元微細構造解2018

    • Author(s)
      酒井 朗,鎌田祥平,志田和己,竹内正太郎,今井康彦,木村 滋
    • Journal Title

      日本結晶成長学会誌

      Volume: 45 Pages: 45-1-04-1~12

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 放射光ナノビームX線回折を用いた半導体材料・デバイスの構造解析2019

    • Author(s)
      酒井朗,志田和己,植田瑛,藤平哲也,今井康彦,隅谷和嗣,木村滋
    • Organizer
      第66回応用物理学会春季学術講演会,結晶工学×放射光シンポジウム
    • Invited
  • [Presentation] 放射光ナノビームX線回折による窒化物半導体HEMTデバイスにおける圧電応答局所格子変形の直接観測2019

    • Author(s)
      植田瑛,藤平哲也,安藤祐也,橋詰保,今井康彦,隅谷和嗣,木村滋,酒井朗
    • Organizer
      第66回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 放射光ナノビームX線回折による窒化物半導体HEMTデバイスにおける圧電応答局所格子変形ダイナミクスの観測2019

    • Author(s)
      植田瑛、藤平哲也、安藤祐也、橋詰保、今井康彦、隅谷和嗣、木村滋、酒井朗
    • Organizer
      第66回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] NaフラックスGaNバルク単結晶の単独転位における漏れ電流特性とバーガースベクトルの解析2019

    • Author(s)
      濱地 威明, 藤平 哲也, 今西 正幸, 森 勇介, 酒井 朗
    • Organizer
      第66回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] OVPE法によるホモエピタキシャルGaN厚膜の欠陥構造評価2019

    • Author(s)
      真鍋海希,藤平哲也 , 滝野淳一, 隅智亮, 今西正幸, 森勇介, 酒井朗
    • Organizer
      第66回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Three-dimensional Analysis of Defect-related Singularity Structures in Semiconductor Materials2018

    • Author(s)
      Sakai A, Takeuchi S, Shida K, Kamada S, Tohei T, Imai Y, Kimura S, Miyake H, Hiramatsu K
    • Organizer
      OIST-Singularity Project Joint Workshop
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Three-dimensional structural and defect analysis by nanobeam X-ray diffraction for semiconductor materials2018

    • Author(s)
      Sakai A
    • Organizer
      THERMEC'2018
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Defect characterization in nitride semiconductor bulk materials2018

    • Author(s)
      Sakai A
    • Organizer
      The International Workshop on Nitride Semiconductors 2018
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Dislocation Properties in Bulk GaN Substrates2018

    • Author(s)
      Sakai A
    • Organizer
      IDGN-4
    • Invited
  • [Presentation] Nanobeam X-ray Diffraction Analysis of Local Lattice Distortions in the Growth Direction of a Modified Na-Flux GaN Bulk Crystal2018

    • Author(s)
      Shida K, Takeuchi S, Tohei T, Imanishi M, Mori Y, Sumitani K, Imai Y, Kimura S, Sakai A
    • Organizer
      International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-7)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Leakage current analysis for individual dislocations in the modified Na-flux GaN bulk single crystal2018

    • Author(s)
      Hamachi T, Takeuchi S, Tohei T, Imanishi M, Mori Y, Sakai A
    • Organizer
      International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-7)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Quantitative analysis of lattice plane microstructure in the growth direction of a modified Na-flux GaN crystal using nanobeam X-ray diffraction2018

    • Author(s)
      Shida K, Tohei T, Imanishi M, Mori Y, Sumitani K, Imai Y, Kimura S, Sakai A
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Local electrical and structural analysis for threading dislocations in the modified Na-flux GaN bulk single crystals2018

    • Author(s)
      Hamachi T, Tohei T, Imanishi M, Mori Y, Sakai A
    • Organizer
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Tomographic mapping analysis of lattice distortions in the depth direction of high-Ge-content SiGe films with compositionally graded buffer layers using nanobeam X-ray diffraction2018

    • Author(s)
      Shida K,Takeuchi S, Tohei T, Imai Y, Kimura S, Schulze A, Caymax M, Sakai A
    • Organizer
      1st Joint ISTDM/ICSI 2018 Conference
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ナノビームX線回折法による改良型NaフラックスGaNバルク単結晶の深さ方向結晶構造解析2018

    • Author(s)
      志田和己,山本望,藤平哲也,今西正幸,森勇介,隅谷和嗣,今井康彦,木村滋,酒井朗
    • Organizer
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 改良型NaフラックスGaN単結晶内単独転位の漏れ電流特性解析2018

    • Author(s)
      濱地威明,藤平哲也,今西正幸,森勇介,酒井朗
    • Organizer
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 圧電応答顕微鏡法によるNaフラックス成長GaN単結晶の局所圧電物性解析圧電応答顕微鏡法によるNaフラックス成長GaN単結晶の局所圧電物性解析2018

    • Author(s)
      植田瑛, 竹内正太郎, 藤平哲也, 今西正幸, 森勇介, 酒井朗
    • Organizer
      平成30年度応用物理学会第2回関西支部講演会
  • [Presentation] OVPE法によるホモエピタキシャルGaN厚膜の欠陥構造評価2018

    • Author(s)
      真鍋海希,藤平哲也,滝野淳一,隅智亮,今西正幸,森勇介,酒井朗
    • Organizer
      平成30年度応用物理学会第2回関西支部講演会

URL: 

Published: 2019-12-27  

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