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2020 Fiscal Year Annual Research Report

Spatio-time-resolved cathodoluminescence studies on singularity crystals

Planned Research

Project AreaMaterials Science and Advanced Elecronics created by singularity
Project/Area Number 16H06427
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

秩父 重英  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (80266907)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 小島 一信  東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (30534250)
嶋 紘平  東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (40805173)
Project Period (FY) 2016-06-30 – 2021-03-31
Keywords結晶工学 / 結晶成長 / フェムト秒電子銃 / 時間空間同時分解分光
Outline of Annual Research Achievements

特異構造内部や界面における発光過程を把握するには当該構造を狙い打ちする必要がある.走査型電子顕微鏡(SEM)にフェムト秒レーザ励起パルス光電子(PE)銃を組み込む時間空間同時分解カソードルミネッセンス(STRCL)計測装置はSEMで観察可能な特異構造の近傍を狙い打ちして発光のイメージングを行える.また,電子線で電子・正孔を励起することから,空間分解分光でも時間分解分光でもバンドギャップの制限を受けない.
本研究班(B02-2)では,フェムト秒チタンサファイアレーザの高調波により金を光励起してフェムト~ピコ秒のPEパルスを発生させ,それをSEMに導入してSTRCL装置を構成し,R2年度は以下に記す成果を得た.
(1)評価技術進展:フェムト秒レーザの第4高調波による光励起の時間分解フォトルミネッセンスと,PEを用いた時間分解カソードルミネッセンスのデータの比較を行い,低加速電圧における測定性能の向上を行った.(2)新奇特異構造材料評価:m面成長AlInN混晶ナノ構造の断面空間分解CL像を得て発光メカニズムを明らかにし,A01-5寒川班と共同で周期構造発生メカニズムを明らかにした.また,2次元層状半導体六方晶BN薄膜のSTRCL評価を行った.(3)人工形成特異構造:A01-2三宅班により作製されたスパッタAlN及びAlNエピ層の評価を行った.また,Mgイオン注入されたGaNの時間分解分光を行い,高圧アニールによる欠陥の動向をB01-2上殿班と共同で調べた.(4)次元性の制御された特異構造に関連する欠陥評価:A01-3上山班のInGaN量子殻構造やMgイオン注入GaNにおける点欠陥と非輻射再結合に関するモデルを構築した.

Research Progress Status

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (40 results)

All 2021 2020 Other

All Int'l Joint Research (2 results) Journal Article (7 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 7 results,  Open Access: 4 results) Presentation (31 results) (of which Int'l Joint Research: 9 results,  Invited: 9 results)

  • [Int'l Joint Research] Universitaet der Bundeswehr Muenchen/Technische Universitaet Muenchen(ドイツ)

    • Country Name
      GERMANY
    • Counterpart Institution
      Universitaet der Bundeswehr Muenchen/Technische Universitaet Muenchen
  • [Int'l Joint Research] Institute of High Pressure Physics(ポーランド)

    • Country Name
      POLAND
    • Counterpart Institution
      Institute of High Pressure Physics
  • [Journal Article] Self-organized micro-light-emitting diode structure for high-speed solar-blind optical wireless communications2020

    • Author(s)
      K. Kojima, Y. Yoshida, M. Shiraiwa, Y. Awaji, A. Kanno, N. Yamamoto, A. Hirano, Y. Nagasawa, M. Ippommatsu, and S. F. Chichibu
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 117 (3) Pages: 031103 1-4

    • DOI

      10.1063/5.0013112

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Annealing behaviors of vacancy-type defects in AlN deposited by radio-frequency sputtering and metalorganic vapor phase epitaxy studied using monoenergetic positron beams2020

    • Author(s)
      A. Uedono, K. Shojiki, K. Uesugi, S. Chichibu, S. Ishibashi, M. Dickmann, W. Egger, C. Hugenschmidt, and H. Miyake
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 128 (8) Pages: 085704 1-10

    • DOI

      10.1063/5.0015225

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Temperature dependence of internal quantum efficiency of radiation for the near-band-edge emission of GaN crystals quantified by omnidirectional photoluminescence spectroscopy2020

    • Author(s)
      K. Kojima, K. Ikemura, and S. F. Chichibu
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 13 (10) Pages: 105504 1-4

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abb788

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Urbach-Martienssen tail as the origin of the two-peak structure in the photoluminescence spectra for the near-band-edge emission of a freestanding GaN crystal observed by omnidirectional photoluminescence spectroscopy2020

    • Author(s)
      K. Kojima and S. F. Chichibu
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 117 (17) Pages: 171103 1-5

    • DOI

      10.1063/5.0028134

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Self-formed compositional superlattices triggered by cation orderings in m-plane Al1-xInxN on GaN2020

    • Author(s)
      S. F. Chichibu, K. Shima, K. Kojima, and Y. Kangawa
    • Journal Title

      Scientific Reports

      Volume: 10 Pages: 18570 1-11

    • DOI

      10.1038/s41598-020-75380-3

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Correlation between the internal quantum efficiency and photoluminescence lifetime of the near-band-edge emission in a ZnO single crystal grown by the hydrothermal method2020

    • Author(s)
      K. Kojima and S. F. Chichibu
    • Journal Title

      Applied Physical Express

      Volume: 13 (12) Pages: 121005 1-5

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abcd73

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] マクロステップを持つc面 AlN/サファイアテンプレート上に成長させたAlGaN量子井戸の物性評価2020

    • Author(s)
      小島一信,長澤陽祐,平野光,一本松正道,杉江隆一,本田善央,天野浩,赤﨑勇,秩父重英
    • Journal Title

      日本結晶成長学会誌 (総合報告)

      Volume: 第47巻, 第3号 Pages: 47-3-04 1-8

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abcd73

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Current progress of omnidirectional photoluminescence spectroscopy for the quantification of quantum efficiency of radiation in GaN crystals2021

    • Author(s)
      K. Kojima, K. Ikemura, and S. F. Chichibu
    • Organizer
      The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE) Photonics West 2021, OPTO, Gallium Nitride Materials and Devices XV (OE107)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Behaviors of vacancy-type defects in Mg-implanted GaN during ultra-high-pressure annealing studied by using a monoenergetic positron beam2021

    • Author(s)
      A. Uedono, H. Sakurai, T. Narita, K. Sierakowski, M. Bockowski, J. Suda, S. Ishibashi, S. F. Chichibu, and T. Kachi
    • Organizer
      The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE) Photonics West 2021, OPTO, Gallium Nitride Materials and Devices XV (OE107)
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Striped and fin-shaped cation orderings and self-formed compositional superlattices in an m-plane Al0.7In0.3N on GaN heterostructure2021

    • Author(s)
      S. F. Chichibu, K. Shima, K. Kojima, and Y. Kangawa
    • Organizer
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Vacancies in AlN deposited by radio-frequency sputtering and MOVPE studied by positron annihilation spectroscopy2021

    • Author(s)
      A. Uedono, K. Shojiki, K. Uesugi, S. F. Chichibu, S. Ishibash, M. Dickmann, W. Egger, C. Hugenschmidt, and H. Miyake
    • Organizer
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Macroscopically homogeneous cathodoluminescence mapping images of c-plane nearly lattice-matched Al1-xInxN films on a GaN substrate2021

    • Author(s)
      L. Y. Li, K. Shima, M. Yamanaka, K. Kojima, T. Egawa, T. Takeuchi, M. Miyoshi, and S. F. Chichibu
    • Organizer
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Cathodoluminescence studies of AlN epilayers grown by MOVPE on sputtered AlN templates annealed at high temperature2021

    • Author(s)
      K. Shima, T. Kasuya, K. Shojiki, K. Uesugi, K. Kojima, A. Uedono, H. Miyake, and S. F. Chichibu
    • Organizer
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Omnidirectional photoluminescence (ODPL) spectroscopy for the quantification of quantum efficiency of radiation in GaN crystals2021

    • Author(s)
      K. Kojima and S. F. Chichibu
    • Organizer
      Virtual Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Self-formed compositional superlattices triggered by cation orderings in m-plane Al1-xInxN on GaN2021

    • Author(s)
      S. F. Chichibu, K, Shima, K. Kojima, and Y. Kangawa
    • Organizer
      Virtual Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] (Al,Ga,In)Nの輻射・非輻射再結合過程に点欠陥が及ぼす影響2021

    • Author(s)
      秩父重英,嶋紘平,小島一信,上殿明良,石橋章司
    • Organizer
      日本学術振興会ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会 第121回研究会(第五期総括記念研究会)
    • Invited
  • [Presentation] 深紫外AlGaN LEDを用いたギガビット級ソーラーブラインド光無線通信2021

    • Author(s)
      小島一信,吉田悠来,白岩雅輝,淡路祥成,菅野敦史,山本直克,平野光,長澤陽祐,一本松正道,秩父重英
    • Organizer
      電子情報通信学会総合大会 光エレクトロニクス(OPE)セッション
    • Invited
  • [Presentation] InGaN/GaN多重量子殻の時間空間分解カソードルミネッセンス評価2021

    • Author(s)
      嶋紘平,Weifang Lu,小島一信,上山智,竹内哲也,秩父重英
    • Organizer
      2021年春季応用物理学会
  • [Presentation] 格子整合系c面AlInN/GaNヘテロ構造のルミネッセンス評価2021

    • Author(s)
      李リヤン,嶋紘平,山中瑞樹,小島一信,江川孝志,竹内哲也,三好実人,秩父重英
    • Organizer
      2021年春季応用物理学会
  • [Presentation] 低圧酸性アモノサーマル成長バルクGaN結晶のルミネッセンス評価2021

    • Author(s)
      嶋紘平,栗本浩平,包全喜,三川豊,小島一信,石黒徹,秩父重英
    • Organizer
      2021年春季応用物理学会
  • [Presentation] Mgイオン注入後の空孔ガイド拡散法により形成したp型GaNのルミネッセンス評価2021

    • Author(s)
      嶋紘平,田中亮,高島信也,上野勝典,江戸雅晴,小島一信,上殿明良,秩父重英
    • Organizer
      2021年春季応用物理学会
  • [Presentation] 陽電子消滅によるスパッタ堆積AlN薄膜中の空孔型欠陥検出2021

    • Author(s)
      上殿明良,正直花奈子,上杉謙次郎,秩父重英,石橋章司,M. Dickmann, W. Egger, C. Hugenschmidt,三宅秀人
    • Organizer
      2021年春季応用物理学会
  • [Presentation] AlN単結晶上にHVPE成長させたSi添加AlN基板の発光特性2021

    • Author(s)
      秩父重英,嶋紘平,小島一信, B. Moody,三田清二,R. Collazo, Z. Sitar,熊谷義直,上殿明良
    • Organizer
      2021年春季応用物理学会
  • [Presentation] Characterization of a self-organized deep-ultraviolet micro-light-emitting diode structure for high-speed solar-blind optical wireless communications2020

    • Author(s)
      K. Kojima, Y. Yoshida, M. Shiraiwa, Y. Awaji, A. Kanno, N. Yamamoto, A. Hirano, Y. Nagasawa, M. Ippommatsu, and S. F. Chichibu
    • Organizer
      Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO) 2020, Laser Science to Photonic Applications, Session Free-Space & Underwater Communication
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 全方位フォトルミネセンス計測:新しい評価技術2020

    • Author(s)
      小島一信, 秩父重英
    • Organizer
      日本学術振興会光電相互変換第125委員会第250回記念研究会「新しい光電変換材料・評価法」
    • Invited
  • [Presentation] 陽電子を用いた超高圧焼鈍によるイオン注入GaNの欠陥回復特性の研究2020

    • Author(s)
      上殿明良,櫻井秀樹,成田哲生,Sierakowski Kacper,Bockowski Michal,須田淳,石橋章司,嶋紘平,秩父重英,加地徹
    • Organizer
      第49回結晶成長国内会議(JCCG-49), シンポジウム「窒化物半導体における不純物制御」
    • Invited
  • [Presentation] 陽電子消滅法によるMgイオン注入GaNの空孔型欠陥の焼鈍特性及び欠陥によるキャリア捕獲の研究2020

    • Author(s)
      上殿明良,高島信也,江戸雅晴,上野勝典,松山秀昭,Marcel Dickmann,Werner Egger,Christoph Hugenschmidt, 嶋紘平,小島一信,秩父重英,石橋章司
    • Organizer
      応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第7回個別討論会「GaN p 型イオン注入」
    • Invited
  • [Presentation] AlNおよび高AlNモル分率AlGaN混晶におけるAl空孔複合体の役割2020

    • Author(s)
      秩父重英,嶋紘平,小島一信,三宅秀人,上殿明良
    • Organizer
      応用物理学会結晶工学分科会,応用電子物性分科会との連携研究例会「紫外材料・デバイス開発の最前線」
    • Invited
  • [Presentation] 時間空間分解カソードルミネッセンス法によるワイドバンドギャップ窒化物半導体の評価2020

    • Author(s)
      秩父重英
    • Organizer
      日本学術振興会放射線科学とその応用第186委員会第36回研究会
    • Invited
  • [Presentation] c面エピタキシャルAl0.82In0.18N/GaN構造の空間分解カソードルミネッセンス2020

    • Author(s)
      李リヤン,嶋紘平,山中瑞樹,小島一信,江川孝志,竹内哲也,三好実人,秩父重英
    • Organizer
      日本結晶成長学会 ナノ構造エピタキシャル成長分科会,「第12回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会」
  • [Presentation] スパッタAlN上にMOVPE成長させたAlN薄膜のカソードルミネッセンス評価2020

    • Author(s)
      粕谷拓生,嶋紘平,正直花奈子,上杉謙次郎,小島一信,上殿明良,三宅秀人,秩父重英
    • Organizer
      日本結晶成長学会 ナノ構造エピタキシャル成長分科会,「第12回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会」
  • [Presentation] 全方位フォトルミネセンス分光にて観測される双峰性スペクトルの起源2020

    • Author(s)
      小島一信,秩父重英
    • Organizer
      2020年秋季応用物理学会
  • [Presentation] 全方位フォトルミネッセンス(ODPL)分光法によるGaNウェハの発光量子効率マッピング評価2020

    • Author(s)
      池村賢一郎,小島一信,秩父重英,堀切文正
    • Organizer
      2020年秋季応用物理学会
  • [Presentation] MOVPE成長m面AlInN/GaNヘテロ構造における特異構造(4)2020

    • Author(s)
      秩父重英,嶋紘平,稲富悠也,小島一信,寒川義裕
    • Organizer
      2020年秋季応用物理学会
  • [Presentation] GaNに格子整合するc面AlInN薄膜の空間分解カソードルミネッセンス2020

    • Author(s)
      李リヤン,嶋紘平,山中瑞樹,小島一信,江川孝志,竹内哲也,三好実人,秩父重英
    • Organizer
      2020年秋季応用物理学会
  • [Presentation] 高温アニールスパッタAlN上にMOVPE成長させたAlNの陰極線蛍光評価(1)2020

    • Author(s)
      嶋紘平,正直花奈子,上杉謙次郎,小島一信,上殿明良,三宅秀人,秩父重英
    • Organizer
      2020年秋季応用物理学会
  • [Presentation] 高温アニールスパッタAlN上にMOVPE成長させたAlNの陰極線蛍光評価(2)2020

    • Author(s)
      粕谷拓生,嶋紘平,正直花奈子,上杉謙次郎,小島一信,上殿明良,三宅秀人,秩父重英
    • Organizer
      2020年秋季応用物理学会
  • [Presentation] GaN結晶の輻射量子効率と炭素不純物濃度の相関2020

    • Author(s)
      小島一信,堀切文正,成田好伸,吉田丈洋,藤倉序章,秩父重英
    • Organizer
      2020年秋季応用物理学会

URL: 

Published: 2021-12-27  

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