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2007 Fiscal Year Annual Research Report

単分子膜リソグラフィによる微細加工・微細組立

Planned Research

Project AreaStrong Photons-Molecules Coupling Fields for Chemical Reactions
Project/Area Number 19049010
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

杉村 博之  Kyoto University, 工学研究科, 教授 (10293656)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 邑瀬 邦明  京都大学, 工学研究科, 准教授 (30283633)
一井 崇  京都大学, 工学研究科, 助教 (30447908)
Keywords微細加工 / 微細組立 / リソグラフィ / 自己集積化単分子膜 / 真空紫外 / 走査型プローブ顕微鏡 / ナノ材料 / ナノ加工
Research Abstract

本計画研究では、3つのサブテーマについて研究を進めた。
(1)光微細加工研究室独自の光微細加工技術である真空紫外(Vacuum Ultraviolet Lithography, VUV-L)マクロ加工技術の、光強結合場構築への対応を目指し、プロセス条件の見直しと改良を実施した。まず、光学的応用のため必要不可欠な透明基板へ対応するため、透明導電性基板へのSAMレジスト被覆およびVUVパターニングの実験をおこなった。ITO基板へのSAM被覆プロセス条件を確立し、VUV露光条件を最適化した。シリコン基板とくらべると表面の平滑性が劣るため、マスクの密着度が悪くややパターンがぼけることがわかったが、5μm程度のラインパターン転写では問題無いことがわかった。次に、平坦性の高いシリコン基板でのVUV露光条件の最適化を行い、0.5μm程度のサブミクロンSAM膜パターンを形成できるようになった。このVUVマイクロパターン化SAMをテンプレートに、金ナノ粒子配置の予備実験を行い、パターン上に金のナノ粒子を自在に配置するための基礎的なデータを収集した。
(2)ナノプローブ微細加工原子レベルで平滑なSAMレジストを用い、プローブ描画条件の最適化を行い、15nm前後の微細ラインをある程度の再現性で描画できるようになった。このプローブ描画パターンをテンプレートに、金ナノ析出実験を行い、加工線幅20nmレベルの金ナノ構造を構築できることを確認し、光強結合反応場構築のための要素技術として有望であることを確認した。
(3)光強結合場リソグラフィ技術を開発するための第一ステップとして、可視光応答性のある単分子膜レジスト(ニトロフェニルSAM)の被覆プロセスを開発し、さらに、このSAMが実際に可視光によって露光できることを確認した。

  • Research Products

    (5 results)

All 2008 2007 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Surface Chemical Conversion of Organosilane Self-Assembled Monolayers with Active Oxygen Species Generated by Vacuum Ultraviolet Irradiation of Atmospheric Oxygen Molecules2008

    • Author(s)
      Young-Jong Kim, 他
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      Pages: 307-312

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Structural Organization of Gold Nanoparticles onto the ITO Surface and Its Optical Properties as a Function of Ensemble Size2008

    • Author(s)
      Om P. Khatri, Kuniaki Murase, and Hiroyuki Sugimura
    • Journal Title

      Langmuir 24

      Pages: 3787-3793

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Patterning of Self-assembled Thin Films Using Vacuum Ultraviolet Irradiation Through Anodic Porous Alumina Mask2007

    • Author(s)
      Masahiro Harada, 他
    • Journal Title

      Chemistry Letters 36

      Pages: 1266-1267

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Spatially Controlled Functionalization and Chemical Manipulation to Fabricate 2D Arrays of Gold Nanoparticles onto ITO2007

    • Author(s)
      Om Parakash Khatri, Kuniaki Murase, and Hiroyuki Sugimura
    • Organizer
      20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2007)
    • Place of Presentation
      京都国際会議場
    • Year and Date
      2007-11-08
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.mtl.kyoto-u.ac.jp/groups/sugimura-g/

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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