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2010 Fiscal Year Annual Research Report

単分子膜リソグラフィによる微細加工・微細組立

Planned Research

Project AreaStrong Photons-Molecules Coupling Fields for Chemical Reactions
Project/Area Number 19049010
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

杉村 博之  京都大学, 工学研究科, 教授 (10293656)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 邑瀬 邦明  京都大学, 工学研究科, 准教授 (30283633)
一井 崇  京都大学, 工学研究科, 助教 (30447908)
佐藤 宣夫  京都大学, 工学研究科, 助教 (70397602)
Keywords微細加工 / 微細組立 / リソグラフィ / 自己集積化単分子膜 / 真空紫外 / 走査型プローブ顕微鏡 / ナノ粒子 / ナノ加工
Research Abstract

本研究では、自己組織化の弱点を克服した自由度と精度の高い微細加工・微細組立技術を提供し、光-分子強結合場の機能をマイクロデバイス化するための基盤プロセス技術を開発し、強結合場の応用研究展開に資することを目的とした。具体的には、自己集積化単分子膜(Self-Assembled Monolayer,SAM)を、リソグラフィ技術によってパターニングし、微細オブジェクトを精密空間配置するテンプレートに用いる手法について、実験的研究を行った。言い換えれば、自己組織化の場をSAMとリソグラフィによって空間的にプログラミングすることで、より正確かつ自在なオブジェクト配置の実現を目指した。
○VUNマイクロ加工によるsub-μmスケール金ナノ粒子配列構造形成の研究:1μmを切るsub-μmレベルのVUV微細加工技術を確立した。アルミナナノホールマスクを用いることで、加工に用いたVUV光の波長172nmに近い、200nmの微細加工に成功した。
○プローブナノ加工プロセスによる金ナノ構造形成:加工線幅をナノ粒子直径(20nm)と同程度まで微細化することによって、ナノ粒子の1次元配列を形成することに成功した。
共有結合(Si-C結合)を介した金ナノ粒子のシリコン基板への固定化:反応前に金ナノ粒子を水面上に展開しナノ粒子の最密充填LB膜を形成してから基板上に転写し反応-固定化するプロセスを開発した。
○ニトロフェニル基単分子膜の強結合場光還元:金ナノ粒子内に誘起された局在プラズモン場によって、ニトロフェニル基からニトロアミノ基への光還元反応が促進できるとを示し、単分子膜レジストによるプラズモンナノリソグラフィの可能性を示した。

  • Research Products

    (10 results)

All 2011 2010 Other

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (5 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Self-Aligned Nucleation of Gold onto Templates with a Nano-scale Precision Fabricated by Scanning Probe Lithography2011

    • Author(s)
      H.Sugimura, et al
    • Journal Title

      Journal of Photochemistry & Photobiology, A

      Volume: 221 Pages: 209-213

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Molecular packing density of self-assembled monolayer formed from N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltriethoxysilane by a vapor phase process2011

    • Author(s)
      H.Sugimura, et al
    • Journal Title

      Chemical Communication

      Volume: 47 Pages: 8841-8843

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Degradation behavior of release layers for nanoimprint lithography formed on atomically flat Si(111) terraces2010

    • Author(s)
      K.Kuwabara, el al
    • Journal Title

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      Volume: 28 Pages: 968-972

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Resin Elongation Phenomenon of Polystwene Nanopillars in Nanoimprint Lithography2010

    • Author(s)
      K.Kuwabara, el al
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys

      Volume: 49 Pages: 106505

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Immobilization of Gold Nanoparticles on Silicon Substrates by Visible Light Irradiation2011

    • Author(s)
      T.Ichii
    • Organizer
      6th International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE6)
    • Place of Presentation
      Sendai, Japan(震災のため)(実際の発表は無い)
    • Year and Date
      20110300
  • [Presentation] Self-aligned deposition and nucleation of gold nanoparticles onto templates with a nanoscale precision fabricated by scanning probe lithography2010

    • Author(s)
      H.Sugimura
    • Organizer
      Pacifichem 2010
    • Place of Presentation
      Honolulu, Hawai
    • Year and Date
      20101215-20101220
  • [Presentation] Immobilization of gold nanoparticles on silicon substrates by visible light irradiation2010

    • Author(s)
      K.Yamashiro
    • Organizer
      Pacifichem 2010
    • Place of Presentation
      Honolulu, Hawai
    • Year and Date
      20101215-20101220
  • [Presentation] Gold nanoparticle arrays formed on amino-functional microtemplates fabricated by vacuum ultra-violet lithography2010

    • Author(s)
      J. Yang, Y.-J. Kim, T. Ichii, K. Murase and H. Sugimura
    • Organizer
      Pacifichem 2010
    • Place of Presentation
      Honolulu, Hawai
    • Year and Date
      20101215-20
  • [Presentation] Electrostatic Adhesion of Gold Nanoparticles Spatially Defined by Micro/Nano-Patterned Self-Assembled Monolayers2010

    • Author(s)
      H.Sugimura
    • Organizer
      4th World Congress on Adhesion and Related Phenomena (WCARP-IV)
    • Place of Presentation
      Arcachon, France
    • Year and Date
      20100926-20100930
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.mtl.kyoto-u.ac.jp/groups/sugimura-g/

URL: 

Published: 2013-06-26  

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