2009 Fiscal Year Annual Research Report
| Project Area | Creation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions |
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21110002
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
寺嶋 和夫 The University of Tokyo, 大学院・新領域創成科学研究科, 教授 (30176911)
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| Keywords | 超臨界流体 / 超臨界クラスタ流体 / 超臨界クラスタ流体プラズマ / プラズマ発生 / プラズマ診断 |
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| Research Abstract |
(1) 超臨界クラスタ流体プラズマの発生と診断
平行平板型DBD放電を用いた超臨界クラスタ流体プラズマの発生を、Xe、CO2をプラズマ煤体として用い、臨界点を中心にして、温度、圧力をプロセスパラメタにして、その安定発生を行った。新しく開発した放電セルを用い、24時間もの長時間での安定的なプラズマの発生に成功した。またこの電極を配列(17個並べて)させ、均一なで2次元的にスケールアップしたプラズマ源の作製にも成功した。この方法により、1次元的なスケールアップ、3次元的なスケールアップも可能である。診断に関しては、電流電圧測定、発光分光測定をおこない、そのプラズマモードの確認(フィラメントモード)、発光種の確認を行った。レーザー誘起の超臨界クラスタ流体プラズマの発生の予備実験も開始した。
(2) 超臨界クラスタ流体プラズマの材料プロセスへの応用
上記のプラズマを用いて、新規のナノマテリアル探索、プロセス開発の研究を開始した。
臨界点付近を中心に、各種のプロセスパラメタ(圧力、温度、電圧、電極構造、媒体、溶質など)を変化させて、新規ナノマテリアルの合成を目指した。合成物質の同定には、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、ラマン分光、光電子分光法、質量分析装置などを用いた。合成物質と合成条件、プラズマ内部条件(発光分光法、電圧電流測定)などとの相関の測定も開始した。現在までに、いくつかの興味深い構造物の合成が示唆される結果を得ている。
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