1990 Fiscal Year Annual Research Report

メタステ-ブル原子をプロ-ブとする電子放射顕微鏡の開発とその固体表面への適用

Research Project

Project/Area Number	01060002
Research Institution	The University of Tokyo
Principal Investigator	原田義也東京大学, 教養学部, 教授 (20013477)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	市ノ川竹男早稲田大学, 理工学部, 教授 (70063310)
Keywords	電子顕微鏡 / 電子分光 / 固体表面
Research Abstract	1.装置の細部設計精度の高い計算によって、メタステ-ブル電子放射顕微鏡の各部の収差とエネルギ-分解能のシミュレ-ションを行なった。設計の際に次の3つの新しい試みを採用した結果、従来に比べて性能が一段と向上することが明確になった。 (1)無収差偏向器の新しい設計、(2)対物静電レンズの収差の減少、(3)高いエネルギ-分解能および小さい収差の静電レンズ系をもったウィ-ン・フィルタ-型エネルギ-選別レンズ(8極子型)の新しい設計。 2.真空紫外光源の開発従来用いてきた冷陰極型放電管に加えて熱陰極型He I放電管を試作し、強度の検討を行なった。後者についてはさらに強度を増大させる必要がある。 3.画像処理系の整備電子顕微鏡像をCCDカメラによりTV操作で記録する画像処理システムを開発した。このシステムでは、(1)ノイズの低減、(2)コントラスト強調、(3)歪み補正、(4)フ-リエ変換、(5)定量化、(6)スペクトルノイズの低減、(7)二つの画像の間での加減乗除などが可能である。 4.PIESとUPSの測定電子放射顕微鏡によるミクロな部分のスペクトルと比較検討するため、シリコンの清浄表面およびそれにアルカリ金属が吸着した表面のペニングイオン化電子スペクトル(PIES)と紫外光電子スペクトル(UPS)を測定した。清浄面では半導体表面におけるメタステ-ブル原子の脱励起過程、吸着面ではアルカリ吸着系の構造と電子状態について有用な知見が得られた。なお前年度に整備した試料調製用真空装置にLEED/AES電子分光装置を付属させ、表面の構造や原子組成についても直接的な情報が得られるようにした。

Research Products
(17 results)

All Other

All Publications (17 results)

[Publications] S.Masuda: "Spatial distribution of 3d electrons in sandwich compounds studied by PIES" J.Am.Chem.Soc.112. 6445-6446 (1990)
[Publications] H.Ushijima: "Unusually high oxidation halfーwave potentials of diーand trichalcogena[3]ferrocenophanes" Bull.Chem.Soc.Jpn.63. 1015-1019 (1990)
[Publications] S.Masuda: "Wave function of graphite surface studied by metastable atom electron spectroscopy" J.Electron Spectrosc.Relat.Phenom.51. 167-171 (1990)
[Publications] H.Ishii: "Selective observation of Si(111) surface states by metastable atom electron spectroscopy" J.Electron Spectrosc.Relat.Phenom.52. 127-132 (1990)
[Publications] S.Masuda: "Spatial distribution of wave function of a graphite surface by use of metastableーatom electron spectroscopy" Phys.Rev.B42. 3582-3585 (1990)
[Publications] H.Ozaki: "Penning ionization electron spectroscopy of nーalkane ultrathin films." J.Am.Chem.Soc.112. 5735-5740 (1990)
[Publications] H.Ozaki: "Penning ionization electron spectroscopy of iron phthalocyanine thin films" J.Chem.Phys.92. 3184-3188 (1990)
[Publications] Y.Harada: "Penning ionization electron spectroscopy of organic molecules" Pure & Appl.Chem.62. 457-462 (1990)
[Publications] S.Masuda: "Observation of unusually enhanced satellite band in PIES of benzene and toluene" Phys.Rev.Lett.65. 3257-3260 (1990)
[Publications] T.Ichinokawa: "Surface deffects of MoS_2 crystal observed by scanning LEED microscopy" Surface Sci.231. L189-L195 (1990)
[Publications] T.Ichinokawa: "Surface analytical scanning electron microscopy in ultrahigh vacuum combined with STM" Surface and Interface Analysis. 16. 87-96 (1990)
[Publications] T.Ichinokawa: "Scanning tunnelling microscopy observastion of MoS_2 surface and gold clusters deposited on MoS_2 surface" J.Vac.Sci.Technol.A8. 500-503 (1990)
[Publications] T.Ichinokawa: "Epitaxial growth in Cu/Si(001)2×1 at high temperatures" Surface Sci.241. 416-424 (1991)
[Publications] T.Ichinokawa: "Scanning tunneling microscopy of monolayer graphite epitaxially grown on TiC(111) surface" Surface Sci.
[Publications] T.Ichinokawa: "Electromigration of metallic islands on Si(100)" Phys.Rev.Lett.
[Publications] 大島忠平: "固体表面上の単原子層グラファイト" 固体物理. 26. 37-43 (1991)
[Publications] 市ノ川竹男: "Si(100)上の金属クラスタ-のElectromigration" 日本学術振興会第141委員会資料. 66. 44-47 (1991)

1990 Fiscal Year Annual Research Report

メタステ-ブル原子をプロ-ブとする電子放射顕微鏡の開発とその固体表面への適用

Principal Investigator

原田 義也 東京大学, 教養学部, 教授 (20013477)

Research Products

[Publications] S.Masuda: "Spatial distribution of 3d electrons in sandwich compounds studied by PIES" J.Am.Chem.Soc.112. 6445-6446 (1990)

[Publications] H.Ushijima: "Unusually high oxidation halfーwave potentials of diーand trichalcogena[3]ferrocenophanes" Bull.Chem.Soc.Jpn.63. 1015-1019 (1990)

[Publications] S.Masuda: "Wave function of graphite surface studied by metastable atom electron spectroscopy" J.Electron Spectrosc.Relat.Phenom.51. 167-171 (1990)

[Publications] H.Ishii: "Selective observation of Si(111) surface states by metastable atom electron spectroscopy" J.Electron Spectrosc.Relat.Phenom.52. 127-132 (1990)

[Publications] S.Masuda: "Spatial distribution of wave function of a graphite surface by use of metastableーatom electron spectroscopy" Phys.Rev.B42. 3582-3585 (1990)

[Publications] H.Ozaki: "Penning ionization electron spectroscopy of nーalkane ultrathin films." J.Am.Chem.Soc.112. 5735-5740 (1990)

[Publications] H.Ozaki: "Penning ionization electron spectroscopy of iron phthalocyanine thin films" J.Chem.Phys.92. 3184-3188 (1990)

[Publications] Y.Harada: "Penning ionization electron spectroscopy of organic molecules" Pure & Appl.Chem.62. 457-462 (1990)

[Publications] S.Masuda: "Observation of unusually enhanced satellite band in PIES of benzene and toluene" Phys.Rev.Lett.65. 3257-3260 (1990)

[Publications] T.Ichinokawa: "Surface deffects of MoS_2 crystal observed by scanning LEED microscopy" Surface Sci.231. L189-L195 (1990)

[Publications] T.Ichinokawa: "Surface analytical scanning electron microscopy in ultrahigh vacuum combined with STM" Surface and Interface Analysis. 16. 87-96 (1990)

[Publications] T.Ichinokawa: "Scanning tunnelling microscopy observastion of MoS_2 surface and gold clusters deposited on MoS_2 surface" J.Vac.Sci.Technol.A8. 500-503 (1990)

[Publications] T.Ichinokawa: "Epitaxial growth in Cu/Si(001)2×1 at high temperatures" Surface Sci.241. 416-424 (1991)

[Publications] T.Ichinokawa: "Scanning tunneling microscopy of monolayer graphite epitaxially grown on TiC(111) surface" Surface Sci.

[Publications] T.Ichinokawa: "Electromigration of metallic islands on Si(100)" Phys.Rev.Lett.

[Publications] 大島 忠平: "固体表面上の単原子層グラファイト" 固体物理. 26. 37-43 (1991)

[Publications] 市ノ川 竹男: "Si(100)上の金属クラスタ-のElectromigration" 日本学術振興会第141委員会資料. 66. 44-47 (1991)

原田義也東京大学, 教養学部, 教授 (20013477)

[Publications] 大島忠平: "固体表面上の単原子層グラファイト" 固体物理. 26. 37-43 (1991)

[Publications] 市ノ川竹男: "Si(100)上の金属クラスタ-のElectromigration" 日本学術振興会第141委員会資料. 66. 44-47 (1991)