1991 Fiscal Year Annual Research Report
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01460078
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| Research Institution | Kobe University |
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Principal Investigator |
山本 惠一 神戸大学, 工学部, 教授 (80031087)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
青木 和徳 神戸大学, 工学部, 助手 (80112077)
林 真至 神戸大学, 工学部, 助教授 (50107348)
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| Keywords | 半導体 / 超微粒子 / ラマン分光 / 赤外分光 / フォトルミネッセンス / ガス中蒸発法 / マトリックス法 |
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| Research Abstract |
本年度は、昨年度に引き続き微粒子表面層の赤外分光及びSiO_2マトリックス中に埋め込まれた微粒子のラマン分光測定を行い、以下の様な成果を得た。
i)ガス中蒸発Si超徴粒子のinーsitu赤外吸収測定:昨年度末に稼働状態に入った、inーsitu赤外吸収測定が可能なガス中蒸発チャンバ-を使用し、Si超徴粒子を作製し表面層による赤外吸収を測定した。その結果、過去に測定したスペクトルには見られないような、吸収ピ-クが見いだされた。このようなピ-クが観測されるようになったのは、inーsitu測定したことと、測定の感度が向上したことによる。詳しい解析の結果、ガス中蒸発時の残留ガスの存在により、ガス中蒸発後空気に晒さない状態でも、既にSi酸化物が形成されていることが結論できる。さらに、新しく観測されたピ-クは、SiーH結合によるもので、表面層内に水素がかなり含まれていることも判明した。
ii)SiO_2中に埋め込まれたAg,Au超徴粒子のラマン散乱:rfスパッタリング法で作製した、Ag,Au超微粒子の低波数ラマン散乱を測定したところ、微粒子に閉じ込められた音響フォノンモ-ドを明確に観測することに成功した。さらに、高波数側のラマンスペクトルを測定することにより、SiO_2マトリックスのラマン散乱が観測されることも確認した。これは、金属超微粒子の表面プラズモン励起による表面増強効果のために、微粒子表面の極く近傍のSiO_2層が観測にかかったものと考えられる。
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[Publications] M.Fujii,S.Hayashi and K.Yamamoto: "Growth of Ge Microcrystals in SiO_2 Thin Film Matrices:A Raman and Electron Microscopic Study" Jpn. J. Appl. Phys.30. 687-694 (1991)
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[Publications] M.Fujii,T.Nagata,S.Hayashi and K.Yamamoto: "LowーFrequency Raman Scattering from Small Silver Particles Embedded in SiO_2 Thin Films" Phys. Rev. B. 44. 6243-6248 (1991)
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[Publications] 林 真至: "固体マトリックスに埋め込んだ超微粒子の光物性" 真空. 34. 799-806 (1991)
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[Publications] M.Fujii,T.Nagata S.Hayahi and K.Yamamoto: "Raman Scattering from Acoustic Phonons Confined in Microcrystals:Small Gold and Silver Particles Embedded in SiO_2 Thin Films" J. Phys. Soc. Jpn.61. 754-755 (1992)
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[Publications] S.Hayashi,H.Sugano,H.Arai and K.Yamamoto: "Phase Transitions in GasーEvaporated WO_3 Microcrystals:A Raman Study" to be published in J. Phys. Soc. Jpn.61. (1992)
