1990 Fiscal Year Annual Research Report
強蛍光性アモルファス半導体薄膜の光導波路構造反転ラマン散乱分光法の開発
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01550009
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
打木 久雄 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (50142237)
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| Keywords | アモルファス半導体 / 光導波路 / 反転ラマン分光法 |
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| Research Abstract |
1.グロ-放電により作成したアモルファス水素化炭素(aーC:H)膜の屈折率nは約1.8であると報告されていたが、実際に作成したaーC:H膜について光導波を試みたところガラス基板の屈折率1.5に近いらしいことが分った。光導波させるためには膜の屈折率を基板より大きくする必要があるため、HeーNeレ-ザを用いてガラス基板上の膜の反射率の入射角依存性の測定から膜の屈折率を求めた。その結果、堆積(非熱処理)膜でn=1.53〜1.54、熱処理膜でn=1.6〜1.7であった。したがって、非熱処理膜の場合には石英ガラス(n=1.48)など低屈折率基板を用いる必要があることが分った。
2.シリコン基板上に作成したaーC:H膜の光外吸収スペクトルおよび波長300nmの紫外ピコ秒レ-ザ光励起によるピコ秒時間分解発光スペクトルを測定し、熱処理による膜の構造変化との関連を調べた。
3.石英ガラス基板上に作成した膜にルチルプリズム結合器を用いてラマン励起光である半導体レ-ザ光を導波させた。300Wのタングステンハロゲンランプ光をラマン検索光として用いるが、ランプ光を微小域に効率よく集光することが難しく、プリズムによる光導波結合効率が非常に低い。光ファイバを用いてモ-ドのフィルタリングや集光効率の向上を試みたが、信号は観測されていない。検索光としても色素レ-ザなどのレ-ザ光源を用いないと信号の観測は困難である。
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Research Products
(2 results)
