1989 Fiscal Year Annual Research Report
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01550015
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| Research Institution | Kyoto Institute of Technology |
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Principal Investigator |
山田 正良 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (70029320)
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| Keywords | レ-ザ結晶化 / レ-ザアニ-ル / シリコン / 熱解析 / 三次元集積回路 |
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| Research Abstract |
1.ラプラス変換とグリ-ン関数、変形キルヒホッフ変換を用いて、多層構造における非線形熱解析法を発展させ、擬似線状レ-ザビ-ムを部分照射することによって生じる局所温度分布の計算機シミュレ-ションを行った。その結果、擬似線状レ-ザビ-ム形成するには周期関数波形波形として、サイン波よりも台形波を用いた方が、自由度が高く、任意な(特に平坦な)温度分布をうるのに適していることを明らかにした。
2.三次元集積回路用SOIのように形状が複雑な場合にも適用できる計算機シミュレ-ション方法として境界要素法を用いるプログラムコ-ドを開発した。現在はまだ線形の段階であるが、1の非線形熱解析手法を境界要素法に取り込むことによって、非線形熱解析プログラムコ-ドを開発する予定です。これを用いれば、擬似線状レ-ザビ-ムを部分照射することによって生じる局所温度分布の計算機シミュレ-ションが、メモリ容量の少ない小型計算機でも短い計算時間で行え、SOI構造の形状と温度分布との関係を明らかにすることができます。
3.超音波振動ミラ-に代えてにガルバノミラ-とデ-タ発生処理装置と組み合わせて、レ-ザビ-ムを任意に走査・振動することができるレ-ザ直描システムを開発した。
4.シリコンをレ-ザ溶融・再結晶化したときの空間的不均一性は、光学系の振動やレ-ザのもどり光などのレ-ザ強度分布のゆらぎや変化によって生じるだけでなく、レ-ザ伝播媒質(空気)のゆらぎによっても生じることを明らかにした。また、レ-ザ溶融・再結晶化現象そのもの自身が空間的不安定性をもつことを示した。
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Research Products
(1 results)
