1990 Fiscal Year Annual Research Report
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01550015
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| Research Institution | Kyoto Institute of Technology |
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Principal Investigator |
山田 正良 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (70029320)
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| Keywords | レ-ザ結晶化 / レ-ザアニ-ル / シリコン / 熱解析 / SOI / 溶融 |
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| Research Abstract |
1、半無限多層構造物質に複雑な構造をした実際のデバイスがある場合、グリ-ン関数に基づいた解析解を用いた非線形熱解析手法は適用できないので、複雑な構造をした物質にも容易に適用できる境界要素法の開発を試み、二次元領域での離散化と異種物質の領域接続の手法を確立した。かど点での計算精度を向上させるため、近接二接点法、二重接点法、0ー1次混合要素法、および、中間接点法を試み、領域分割とプログラミングの容易さと計算精度の比較から、中間接点法が最良であると結論づけた。今後、先の非線形計算法を取り込んだり、三次元領域に適用できるように、境界要素法をさらに進展させる必要があります。
2、レ-ザビ-ムの発振モ-ドを変化させて固液間相転移時の熱輻射像を測定し、レ-ザビ-ムの強度分布の相違による核結晶の発生や固液界面の動きなどの結晶成長過程を可視化した。レ-ザパワ-を増加すると、まず最初に、固液共存領域が現れ、その後、固液共存領域の中に完全に溶融した領域が生じた。完全溶融領域の形状は、レ-ザ発振モ-ドがTEM_<00>モ-ドでは楕円形、TEM_<10>+TEM_<01>モ-ドでは繭形、TEM_<02>モ-ドでは三個の楕円形となった。固液混合領域の形状は、レ-ザの発振モ-ドやパワ-の変化により、極めて複雑なふるまいを示した。TEM_<10>+TEM_<01>モ-ドが、他のモ-ドより、再結晶化に適したレ-ザ強度分布を持っていることが明らかになった。
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Research Products
(3 results)
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[Publications] Masayoshi Yamada: "Temperature Distributions Produced in Multilayer Structures by a Scanning CW Laser Beam" Japanese Journal of Applied Physics. (1991)
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[Publications] Masayoshi Yamada: "In Situ Microscope Observation of CWーLaser Melting of Thin Silicon Films" Japanese Journal of Applied Physics. (1991)
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[Publications] Masayoshi Yamada: "Origin of Oriented Crystal Growth of Radiatively Melted Silicon on Sapphire" Japanese Journal of Applied Physics. (1991)
