真空紫外光を用いる光化学気相蒸着の研究

1990 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 01550256
• Research Institution: Ehime University
• Principal Investigator: 長岡 伸一 愛媛大学, 理学部, 助教授 (30164403)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 小谷野 猪之助 姫路工業大学, 理学部, 教授 (80016089)
• Keywords: 光化学気相蒸着 / 真空紫外光 / 内殻 / 光イオン化 / 解離 / 有機金属

Research Abstract

真空紫外光を用いて有機金属化合物の金属の内殻電子を励起すると,金属イオンが選択的に極めて効率よく生成する。本研究では,このような選択的かつ高効率な金属イオン生成の最適条件を求め,真空紫外光を用いた半導体製造プロセスにおける効率の高い光化学気相蒸着(CVD)の方法を開発することを目的とする。本年度は次のような研究を行なった。
1.メチルアルミニウムセキスイクロライドではアルミニウムの2P内殻のエネルギ-よりも高いエネルギ-の光を照射しても光イオンー光イオン同時計数スペクトルにピ-クがあらわれず,2価イオン化が起こっていないことが示唆された。又2P内殻より高エネルギ-側では生成するAlMe^+/Al^+イオン化が増加する。この分子中にはアルミニウム原子が2個あり,そのまわりの環境が異なる。しかし,このような環境の差による内殻エネルギ-のシフトもしくは解離パタ-ンの変化などは観測されなかった。
2.N,Oービストリメチルシリルアセトアミド中にはケイ素原子が2個あり,そのまわりの環境が異なる。しかし,光イオン化効率曲線にあらわれるSi:2P内殻イオン化のピ-クは1つであり,環境の差による内殻エネルギ-のシフトもしくは解離パタ-ンの変化などは観測されなかった。
以上の2分子において,環境の差による内殻エネルギ-のシフトもしくは解離パタ-ンの変化などが観測されない理由は,環境の差が小さくシフトが小さいか,我々の装置のエネルギ-分解能が小さいかのいずれかである。この点は今後検討を要する。

Research Products

• [Publications] Kiyoshi Ueda: "Ionic Fragmentation following CoreーLevel Photoionization of Sn(CH_3)_4 by Soft XーRays" Physica Scripta. 41. 78-82 (1990)
• [Publications] Kiyoshi Ueda: "Ionic Fragmentation following the Photoionization of Sn(CH_3)_4 in the 60ー260 eV Region" Chemical Physics Letters. 166. 391-396 (1990)
• [Publications] Shinーichi Nagaoka: "Ionic Fragmentation Processes in Organometallic Molecules of Group IIーV Elements following (nー1)d Core Photoionization" The Journal of Physical Chemistry. 94. 2283-2290 (1990)
• [Publications] Shinーichi Nagaoka: "Dissociative Double Ionization following Valence and Al:2p Core Level Photoexcitation of Al(CH_3)_3" Physica Scripta. 41. 472-474 (1990)
• [Publications] Kiyoshi Ueda: "Ionic Fragmentation following the 3p and 3s Core Excitation of Ga(CH_3)_3 by Soft XーRays" Chemical Physics Letters. 170. 389-395 (1990)
• [Publications] Shinーichi Nagaoka: "Dissociative Photoionization of Al_2(CH_3)_6 and Al_2(CH_3)_3Cl_3 in the Range 40ー100 eV" Applied Organometallic Chemistry.