半導体製造産業における有害化学物質の毒性に関する基礎的研究

1990 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 01570298
• Research Institution: Keio University, School of Medicine
• Principal Investigator: 大前 和幸 慶應義塾大学, 医学部, 講師 (60118924)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 酒井 徹 慶応義塾大学, 医学部, 助手 (50153846)
• Keywords: 半導体 / シラン / 半導体特殊材料ガス / 毒性 / 動物実験

Research Abstract

1、シラン曝露実験の解析およびまとめ
前年度〜今年度初頭にかけて実施したシラン曝露実験の解析およびまとめを行った。結果概要は、ICR雄マウスによるシラン30分曝露のLCLOは、10,000ppm以上であること、1時間、2時間、4時間、8時間、2週間、4週間ののLCLOは、1,000ppm以上であること、シランに対するもっとも敏感な標的臓器は腎臓であること、病理学的に不可逆的な変化は、7,500ppm30分曝露以上の濃度でみられたこと、シランの刺激性は弱いこと等であった。これらの実験結果は、従来知られていなかったことであり、半導体製造関連産業にとっては貴重なデ-タといえよう。
2、ホスフィン曝露実験
第2番目の半導体製造特殊ガスとしてホスフィンを取り上げ、予備実験、短期間曝露実験を継続中である。
3、報告書の作成
実験装置の作成、シランに関する基礎実験、シラン曝露実験結果を内容とする報告書を作成した。

Research Products

• [Publications] 酒井 徹、大前 和幸、中島 宏、山崎 一人、桜井 治彦: "マウスにおけるシランの吸入毒性 I 1,000ppmシラン1、2、4、8時間曝" 第64回日本産業衛生学会総会講演集. (1991)
• [Publications] 中島 宏、大前 和幸、酒井 徹、山崎 一人、桜井 治彦、 等: "マウスにおけるシランの吸入毒性 II 1,000ppmシラン2週間及び4週間曝露" 第64回日本産業衛生学会総会講演集. (1991)
• [Publications] 大前 和幸、酒井 徹、酒井 徹、山崎 一人、桜井 治彦: "マウスにおけるシランの吸入毒永 III 1,000〜10,000ppmシラン30分間曝露" 第64回日本産業衛生学会総会講演集. (1991)