1989 Fiscal Year Annual Research Report

反応性非平衝プラズマのモデリング

Research Project

Project/Area Number	01632001
Research Institution	Hokkaido University
Principal Investigator	田頭博昭北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	中村義春慶応大学, 理工学部, 助教授 (90051763) 生田信皓徳島大学, 工学部, 教授 (30035802) 真壁利明慶応大学, 理工学部, 助教授 (60095651) 北守一隆北海道工業大学, 工学部, 助教授 (40153134) 佐藤信安岩手大学, 教育学部, 助教授 (20001290)
Keywords	プラズマプロセス / 反応性RFプラズマ / プラズマモデリング / プラズマシミュレーション / プラズマ診断 / 電子スオーム / 衝突断面積 / モンテカルロ法
Research Abstract	I.ラジカルの空間反応と輸送を含む反応性非平衝RFプラズマのモデル建設とシミュレーション技法の開発 i)モンテカルロモデル(田頭,酒井,北守)昨年度開発した電子と正・負イオンの運動をポアソン電界下でモンテカルロ法によって求めると共にラジカル発生レートのギャッブ間分布を求める手法をもとに、発生ラジカルの反応と拡散過程を拡散方程式に適切な境界条件を与えて解く手法を開発し、シランガスプラズマについてシミュレーシヨン計算を行なってアモルファスシリコンの堆積率毎分約50Åという妥当な値を得ることに成功した。ii)ハイブリッド流体モデル(佐藤、田頭)モンテカルロ法で電子エネルギー非平衝領域の電子群の性質を計算し、平衝領域では計算速度の速い差分法による手法を昨年度開発したが、これで求めたラジカル発生レートをもとにラジカルの反応、拡散を計算する手法を完成し、シランおよびシランと水素混合プラズマについて計算を実行し妥当な結果が得られることを示した。iii)緩和流体モデル(真壁、諸隈)電子エネルギ非平衝の効果を運動量およびエネルギー非平衝の時定数を導入して表現する手法を昨年度開発したがこれをメタンについでシランプラズマにも拡張し、負イオンの著しい効果について予測した。 II.プラズマの時間・空間分解計測(真壁、諸隈)マルチチャネルアナライザ及びEWSを導入して本格的に計測を行なう装置を建設し、メタン、シラン及びアルゴンプラスマについて実測を行なった。 III.電子スオーム計算(生田)生田の開発したFTI法をRF電界下に適用範囲を拡張し、シランについて電子スオームの諸特性を計算した。 IV.電子衝突断面積の決定(中村)希ガスとのガス混合による電子スオーム法による断面積決定手法を用いてシランの電子衝突断面積セットを決定するとともにメタンの断面積決定の準備を行なった。

Research Products
(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] 田頭博昭,北守一隆,伊達亜由美,酒井洋輔: "Modeling of RF Plasma Considering Radical Reaction" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 333-336 (1990)
[Publications] 佐藤信安,田頭博昭: "A Hybrid Model of RF Plasmas and Reactions in SiH_4/H_2" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 325-328 (1990)
[Publications] 西村幹郎,中野誠彦,山口由岐夫,真壁利明: "Modeling of the Radical Transport in RF Glow Discharges in CH_4" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 337-340 (1990)
[Publications] 栃久保文嘉,鈴木晶,角田茂,寺薗裕子,浜田秀史,美濃島邦宏,真壁利明: "Diagonostics of RF Glow Discharges in SiH_4 by the Spatiotemporal Optical Emission Spectroscopy" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 157-160 (1990)
[Publications] 倉知正,中村義春: "Electron Swarm Parameters in SiH_4-Rare Gas Mixtures and Collision Cross Sections for SiH_4 Molecule" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 265-268 (1990)
[Publications] 関由美子,六車修二,福徳光師,中島貞之丞,生田信皓: "過渡FTI法による高周波電界下の電子輸送特性解析" 第37回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 1. 38-38 (1990)

1989 Fiscal Year Annual Research Report

反応性非平衝プラズマのモデリング

Principal Investigator

田頭 博昭 北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)

Research Products

[Publications] 田頭博昭,北守一隆,伊達亜由美,酒井洋輔: "Modeling of RF Plasma Considering Radical Reaction" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 333-336 (1990)

[Publications] 佐藤信安,田頭博昭: "A Hybrid Model of RF Plasmas and Reactions in SiH_4/H_2" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 325-328 (1990)

[Publications] 西村幹郎,中野誠彦,山口由岐夫,真壁利明: "Modeling of the Radical Transport in RF Glow Discharges in CH_4" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 337-340 (1990)

[Publications] 栃久保文嘉,鈴木晶,角田茂,寺薗裕子,浜田秀史,美濃島邦宏,真壁利明: "Diagonostics of RF Glow Discharges in SiH_4 by the Spatiotemporal Optical Emission Spectroscopy" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 157-160 (1990)

[Publications] 倉知正,中村義春: "Electron Swarm Parameters in SiH_4-Rare Gas Mixtures and Collision Cross Sections for SiH_4 Molecule" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 265-268 (1990)

[Publications] 関由美子,六車修二,福徳光師,中島貞之丞,生田信皓: "過渡FTI法による高周波電界下の電子輸送特性解析" 第37回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集. 1. 38-38 (1990)

田頭博昭北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)

[Publications] 関由美子,六車修二,福徳光師,中島貞之丞,生田信皓: "過渡FTI法による高周波電界下の電子輸送特性解析" 第37回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 1. 38-38 (1990)