1989 Fiscal Year Annual Research Report
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01850034
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
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| Research Institution | Chubu University |
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Principal Investigator |
難波 義治 中部大学, 工学部, 教授 (40029129)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
望月 孝晏 HOYA(株), オプトロニクス事業センター, 所長
松本 有史 HOYA(株), 理事
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| Keywords | YAGレ-ザ / 超精密加工 / レ-ザCVD / 非球面金型 / 非線形光学材料 |
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| Research Abstract |
電子・光学産業の発展に従い、半導体やMnーZnフェライトを無歪に超平坦加工する技術が開発され、実用化されると共に、従来超精密加工部品と考えられ研磨技術に依存していた光学部品を成型で製造する技術が民生品では主流になる勢である。この場合、成型金型をいかに高精度に製作するかが問題であり、現状では金型材料を超精密ダイヤモンド切削もしくは超精密研削して形状を出した後、従来法による研磨で表面粗さを低減させる方法が採用されている。機械加工によるこれらの形状創成過程で最大の問題点は工具の摩耗による工作物の寸法・形状精度の劣化である。微小光学部品の金型では、工具寸法も小さく、工具摩耗の問題は解決が困難である。そこで、本研究は、高い時間分解能および空間分解能を有するレ-ザを使用して、材料の昇華・光解離・レ-ザCVD現象を利用した新しい超精密形状創成技術を開発することを目的とする。
本年度は、まずレ-ザの波長変換用非線形光学材料の超精密研削を行ない、研削により光学表面が創成できることを実証すると共に、短パルスYAGレ-ザと非線形光学材料を利用して、1060nm、530nm、355nmおよび266nmの波長のレ-ザ光を確保し、これをコンピュ-タで制御できるようにした。レ-ザCVD用真空システムを基本設計し、レ-ザCVDに最適な磁気軸受式タ-ボ分子ポンプを購入・設置した。次年度以降レ-ザで材料表面に形状を創成するため、工作物をxーy同時2軸数値制御するシステムを構築した。シリコンおよび炭化珪素材料に高出力短パルス赤外・可視・紫外レ-ザ光を照射し、材料除去の基礎実験を行なうと共に、窒素ガス中のシリコン単結晶に紫外光を照射することにより、シリコン表面に(SiN)が生成することを確認した。
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[Publications] Y.Namba,R.Wada,K.Unno&A.Tsuboi: "Ultra-Precision Surface Grinder Having a Glass-Ceramic Spindle of Zero-Thermal Expansion" Annals of the CIRP. 38. 331-334 (1989)
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[Publications] Jean M.Bennett&Y.Namba: "Ductile Grinding Study of Glass Using an Ultra-Precision Surface Grinder and Different Grinding Wheels" Technical Digest of Topical Meeting on Science of Optical Finishing. 1-4 (1990)
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[Publications] Y.Namba: "Ultra-Precision Grinding of Optical Materials to Produce Smooth Optical Components" Technical Digest of Topical Meeting on Science of Optical Finishing. 1-4 (1990)
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[Publications] Y.Namba,K.Yoshida,H.Yoshida&S.Nakai: "Ultra-Precision Grinding of LHG-8 Laser Glass and Laser Damage Thresholds" Proceedings of 21st Annual Symposium on Optical Materials for High Power Lasers. 1-6 (1990)
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[Publications] 小島哲夫,横谷篤至,佐々木孝友,難波義治,中井貞雄: "フラックス育成KTP結晶のレ-ザ-間長変換特性" 1989年春季第36回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 825 (1989)
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[Publications] 難波義治: "表面粗さの評価法" 日本学術振興会結晶加工と評価技術第145委員会B分科会(放射光利用)第17回研究会資料. 17-22 (1989)
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[Publications] 難波義治: "超精密鎖面加工と評価" 重点領域研究「X線結像光学」第2回研究会講演資料集. 10-13 (1989)
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[Publications] 小島哲夫,横谷篤至,佐々木孝友,中井貞雄,難波義治,吉田国雄: "半導体レ-ザ-励起マイクロチップ固体レ-ザ-" 1989年秋季第50回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 809 (1989)
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[Publications] 難波義治,吉田国雄,吉田英次,中井貞雄: "レ-ザ-ガラスの超精密研削" 1989年秋季第50回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 972 (1989)
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[Publications] 難波義治,山田良彦,永納保男: "光学ガラスの超精密研削" 1989年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 909-910 (1989)
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[Publications] 難波義治: "超精密鏡面加工と評価" 重点領域研究「X線結像光学」第1回公開シンポジウム講演資料集. 69-73 (1990)
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[Publications] 難波義治: "零熱膨張ガラスセラミックス砥石軸をもった超精密研削盤" 精密工学会第164回講習会テキスト. 41-47 (1990)
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[Publications] 日本セラミックス協会編: "セラミック工学ハンドブック" 技報堂出版, 2521 (1989)
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[Publications] 難波義治(共著): "精度設計と部品仕上げシステム" 日経技術図書, 724 (1989)
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[Publications] 難波義治(共著): "超精密加工マニュアル" 大河出版, 167 (1989)
