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1989 Fiscal Year Annual Research Report

高減衰を有する空気軸受スライダ-の開発

Research Project

Project/Area Number 01850035
Research Category

Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research

Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

山浦 弘  東京工業大学, 工学部, 助手 (80210326)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 植本 浩紀  株式会社リコー, 生産技術研究所, 研究員
山本 浩  東京工業大学, 工学部, 助手 (20220494)
Keywordsエアスライダ- / 溝付き給気孔絞り / 高減衰 / エアスライダ-の動特性
Research Abstract

当初の計画ではポ-ラス形軸受面についても軸受面構造の検討を行う予定であったが、加工が困難であり、現状では不安定になりやすいことがわかったので、溝付き給気孔絞り型軸受面構造についての研究を進め以下の結果を得た。
(1)矩形スライダ-の静特性と剛性・減衰の周波数特性を数値解析するプログラムを開発した。(2)溝付き給気孔絞り形軸受構造を有する矩形スライダ-の動特性について研究した。そして、剛性・減衰の周波数特性を明らかにし、軸受面各部の寸法が及ぼす影響を数値解析により明らかにした。また最適な軸受設計諸元を示した。(3)減衰能の高い軸受面構造を検討し、その1例として軸受面に多数の溝を設けた場合について、溝が系の特性に及ぼす影響について研究した。その結果軸受面に給気溝の他に溝を設けることにより、実際に問題となる周波数の高い領域における軸受の減衰能をさらに高めることができることを明らかにした。またその場合の最適な設計諸元を示した。その結果、100mm四方の矩形スライダ-において、給気圧0.49MPaの条件下で減衰比0.09を実現することができることがわかった。(4)購入したワ-クステ-ションとモ-ド解析システムによりエアスライダの動特性測定システムを構築し、試作したエアスライダの動特性の測定を行った。さらに、大型計算機で計算した空気膜の動剛性・減衰とワ-クステ-ション上で比較・検証するシステムを構築し、実験結果と理論解析結果との比較検討を行った。

URL: 

Published: 1993-03-26   Modified: 2016-04-21  

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