• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

1989 Fiscal Year Annual Research Report

炭酸ガスレ-ザ-によるシリコン同位体分離の実用化

Research Project

Project/Area Number 01850183
Research Category

Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research

Research InstitutionKyoto Institute of Technology

Principal Investigator

荒井 重義  京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (10087538)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 小林 邦昭  レオニクス株式会社, 常務取締役
鈴木 敏夫  日清紡績株式会社, 取締役研究所長
石川 洋一  京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (00167248)
Keywordsレ-ザ-同位体分離 / シリコン同位体の分離 / 炭素13の分離 / フレオン化合物の赤外多光子分解 / ヘキサフルオロジシランの赤外多光子分解 / 炭酸ガスレ-ザ-による赤外多光子分解
Research Abstract

本研究の目的は、炭酸ガスレ-ザ-を使用したSi_2F_6の赤外多光子分解を利用して、シリコン同位体分離の実用化を計ることである。本年は計画の初年度であるため、実験装置の製作と整備が第一の課題となった。実験装置は、1.試料ハンドリング・システム、2.レ-ザ-を含めた光学系、3.分析システムより構成されている。試料ハンドリング・システムはすでに完成し、必要とする圧力計も取り付けられた。光学系に関してもレ-ザ-の整備、反応管の設計・製作を終わり、レ-ザ-ラインの確認及びレ-ザ-出力の測定も問題なく可能となった。分析システムの中心は、ガスクロマトグラフ・マスペクトロメ-タ-であり、その購入・設置ならびに取扱いの習得も終了した。現在、一部のシリコン化合物の分析に多少の問題を残すのみである。
実験装置の完成をみたので、その性能を確認するために、シリコンの同位体分離に入る前の予備実験として、フレオン化合物CHClF_2、CBr_2F_2、CBrClF_2などを用い、その赤外多光子分解による^<13>Cの分離を研究した。いずれの化合物においても、分解生成物中に^<13>Cを高濃縮することができた。特にここでは、フレオン化合物を適当な物質の存在下で光分解させることにより、^<13>Cがある程度濃縮された中間の生成物をつくり、ついでこの生成物を光分解させることにより、最終生成物中に^<13>Cを高濃縮する方法を考案した。このような二段階法は、高濃縮と高収率を同時に達成させるきわめて実用的な方法として、注目を集めている。
シリコンの同位体分離の研究はSi_2F_6を作業物質に選び、選択性及び収率に対するレ-ザ-ライン、レ-ザ-フルエンス、試料圧などの影響が定量的に調べられている。これらの結果は、同位体分離のプロセスの計算機シミレ-ションにおける基礎デ-タとなるものである。

  • Research Products

    (2 results)

All Other

All Publications (2 results)

  • [Publications] 馬培華: "^<13>C-Selective Two-Stage IRMPD of Mixtures of CHClF_2 and HI" Applied Physics. (1990)

  • [Publications] 馬培華: "^<13>CーSelective IRMPD of CBr_2F_2/Cl_2 and CCl_2F_2/Br_2 Systems" Applied Physics. (1990)

URL: 

Published: 1993-03-26   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi