1990 Fiscal Year Annual Research Report
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02214103
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| Research Institution | Gunma University |
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Principal Investigator |
菅原 実 群馬大学, 工学部, 教授 (50008504)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石川 稜威男 山梨大学, 工学部, 助手 (00020446)
松沢 秀典 山梨大学, 工学部, 教授 (40006234)
菅ノ又 伸治 山梨大学, 工学部, 教授 (50020425)
大内 幹夫 東京電機大学, 工学部, 助教授 (90057258)
小林 祥男 群馬工業高等専門学校, 教授 (10042582)
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| Keywords | 探針法 / ダブルプロ-ブ法 / シランプラズマの診断 / 高周波放電 / RF放電 / 負イオン / オプトガルバノ効果 / フォトカウンティング法 |
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| Research Abstract |
この研究は、最も共通性のある平行平板電極構造を持つ容量性RF放電リアクタ-を用い、アルゴンガスおよび反応性ガス(SiH4,SF6)中で、放電の電気的、光学的な構造を、時間・空間分解しながら診断することを目的としている。今年度の成果を以下に述べる。
1)RF反応性ガス放電プラズマ中におけるシングルプロ-ブ法
探針測定へのRF電位変動の影響を補う方法として、プロ-ブの回路系に、外部からRF電位を加え、シ-スにはRF電位変動が加わらない方式を考案した。また、RF電位補償の達成の度合いをチェックする方法を考案し、RF電位変動を打ち消した状態でのプロ-ブ法を可能にした。
2)RF放電イオンシ-ス構造とその動的振る舞い
RF放電の構造をDC放電と対比しながら、その電気的(電位分布、電荷分布)と光学的構造(負グロ-、陽光柱)をしらべている。今年は、f=400KHz,13.56MHzの場合で、負グロ-出現のタイミングとその時間・空間的進展過程をフォトカウンティング法により測定した。
3)直列の2容量型の等価回路モデルを用い、RF放電のシミュレ-ションを行ない、DCシ-ス電圧とVrfの関係を導いた。
4)平行平板型電極配置で、一方の電極上にSiウェ-ハ-を浮遊状態で載せた場合の発光分布は、非対称になった。これは、ウェ-ハ-前面での電界の歪みによるものと思われる。
5)質量分析の測定から、F,SF3などの解離によるフラグメントは、30KHzより1MHzの方が有効に生成されていることがわかった。
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[Publications] T.Okada and M.Sugawara: "A Modified Technique of the Selfーabsorption Method applicable to Natural Mercury Afterglows" Physics Letters A.150. 385-390 (1990)
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[Publications] T.Ohte and M.Sugawara: "Mechanism of controlling the Selfーbias Voltage in a Flatbed Reactor." Materials Science and Engineering A.
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[Publications] I.Ishikawa,K.Koike,T.Akitu,S.Suganomata and H.Matuzawa: "Detection Technique of Negative Ions by Photodetachment in SF_6 Lowーfrequency Discharge." Japan.J.Appl.Phys.29. 767-768 (1990)
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[Publications] S.Suganomata,I.Ishikawa J.Tanaka and H.Ozaki: "Asymmetrical Emission Profiles from Lowーfrequency Discharges in SF_6 and in N_2 Gases in a Planar Diode with a Siー〓afer." Japan.J.Appl.Phys.30. 180-181 (1991)
