1990 Fiscal Year Annual Research Report

X線顕微鏡光学

Research Project

Project/Area Number	02233104
Research Institution	University of Tsukuba
Principal Investigator	青木貞雄筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	中山則昭京都大学, 理学部, 助教授 (00164369) 田中和夫大阪大学, 工学部, 講師 (70171741) 山中正宣大阪大学, レーザー核融合研究センター, 助教授 (10029118) 有留宏明大阪大学, 極限物質研究センター, 助教授 (70029552)
Keywords	全反射斜入射X線顕微鏡 / ゾ-ンプレ-トX線顕微鏡 / 多層膜ミラ- / ウォルタ-型ミラ- / レ-ザ-プラズマX線源 / シュバルツシルト型軟X線顕微鏡 / エピタキシャル成長 / 2次元CCD
Research Abstract	結像型のX線顕微鏡システムを新しいX線光学素子を用いて検討し,その最的設計および試作を行なった。光学素子として,全反射斜入射ミラ-,ゾ-ンプレ-トおよび多層膜ミラ-を採用した。全反射斜入射X線顕微鏡光学では,二段の高倍率光学系を試作した。X線光学素子は,回転軸対称のウォルタ-型ミラ-を採用し,軟X線源としてレ-ザ-プラズマX線を採用した。倍率20倍の光学系では約2000A^^°の解像度を得た。二段の光学系では400倍の拡大像を得た。ゾ-ンプレ-トX線顕微鏡光学では,X線顕微鏡装置の画像計測を行なうため2次元CCD検知器の動作テストを行なった。コンデンサ-ゾ-ンプレ-トとピンホ-ルを組合わせて波長40A^^°の単色X線を得CCD検知器で金属メッシュ像の拡大像(投影像)の取得に成功した。現在,マイクロゾ-ンプレ-トを組込んだ光学系での像計測を続けている。多層膜X線顕微鏡は、試作したプロトタイプの他に二号機プロトタイプを製作した。波長を現在の70A^^°の波長の他に,λ=130A^^°,λ=45A^^°用にコ-ティングしたシュバルツタイプミラ-を用意した。第一号機プロトタイプについては,論文化を行ない,Opt.Commun.に掲載される運びとなった。多層膜形成の基礎過程の研究では,エピタキシャル成長するAuとNiの組み合せについて,周期長20A^^°以下の多層膜を作製し,X線反射特性,内部構造,熱的安定性などを検討した。また,MoN/Alなど窒化物多層膜の構造評価を行い,X線顕微鏡用エピタキシャル多層膜に最適な物質の組み合せについて検討した。

Research Products

(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] K.Ninomiya,Y.Hirai,S.Aoki,K.Suzuki: "Xーray Photoelectron Spectroscopy of Micrometerーsize Surface Area Using Synchrotron Radiation" Jpn.J.Appl.Phys. 29. L1026-L1028 (1990)
[Publications] S.Aoki,S.Sudo: "Grazing Incidence Relay Optics for XーRay Microscopy" in “XーRay Microscopy III" Springer Verlag. (1991)
[Publications] H.Aritome: "An Imaging XーRay Microscope Using a Laser Plasma Source" in “XーRay Microscopy III" Springer Verlag. (1991)
[Publications] M.Yamanaka et al.: "Coded Imaging Techniques for XーRays,Charged Particles and Neutrons in the Inertial Confinement Fusion" Proceedings of IAEA Tech,Committee Meeting on Time Resolved Twoーand Three Dimeusional Plasma Diagrostic,Nagoya,Nov,1990. (1990)
[Publications] M.Kado,K.Tanaka,R.Kodama,K.Yamashita,H.Ohtani,S.Kitamoto,T.Yamanaka,S.Nakai: "Development of Schwarzschild Type XーRay Microscope" Opt,Letters. 2月号. (1991)
[Publications] H.Dohnomae: "Electron Microscopy of Au/Ni Artificial Superlattice Films" Materials Transaction,JIM. 31. 615-621 (1990)

1990 Fiscal Year Annual Research Report

X線顕微鏡光学

Principal Investigator

青木 貞雄 筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)

Research Products

[Publications] K.Ninomiya,Y.Hirai,S.Aoki,K.Suzuki: "Xーray Photoelectron Spectroscopy of Micrometerーsize Surface Area Using Synchrotron Radiation" Jpn.J.Appl.Phys. 29. L1026-L1028 (1990)

[Publications] S.Aoki,S.Sudo: "Grazing Incidence Relay Optics for XーRay Microscopy" in “XーRay Microscopy III" Springer Verlag. (1991)

[Publications] H.Aritome: "An Imaging XーRay Microscope Using a Laser Plasma Source" in “XーRay Microscopy III" Springer Verlag. (1991)

[Publications] M.Yamanaka et al.: "Coded Imaging Techniques for XーRays,Charged Particles and Neutrons in the Inertial Confinement Fusion" Proceedings of IAEA Tech,Committee Meeting on Time Resolved Twoーand Three Dimeusional Plasma Diagrostic,Nagoya,Nov,1990. (1990)

[Publications] M.Kado,K.Tanaka,R.Kodama,K.Yamashita,H.Ohtani,S.Kitamoto,T.Yamanaka,S.Nakai: "Development of Schwarzschild Type XーRay Microscope" Opt,Letters. 2月号. (1991)

[Publications] H.Dohnomae: "Electron Microscopy of Au/Ni Artificial Superlattice Films" Materials Transaction,JIM. 31. 615-621 (1990)

青木貞雄筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)