半導体製造における液体有機材料の生体影響に関する基礎的研究

1991 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 02404035
• Research Institution: Keio University
• Principal Investigator: 桜井 治彦 慶応義塾大学, 医学部, 教授 (70051357)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 酒井 徹 慶応義塾大学, 医学部, 助手 (50153846) ; 大前 和幸 慶応義塾大学, 医学部, 助教授 (60118924)
• Keywords: 半導体 / テトラエトキシシラン / 毒性 / 動物実験 / 有機液体珪素化合物

Research Abstract

1、テトラエトキシシラン(TEOS)吸入曝露実験
昨年度の実験結果より、TEOS1000ppm急性曝露、200ppm亜急性曝露においては、腎への不可逆的影響が観察された。本年度はTEOS亜急性吸入曝露におけるNOAELを追求する目的で、ICR雄マウス(SPF)を使用し、100ppm、50ppm亜急性吸入曝露実験を実施した。その結果、不可逆的影響である急性尿細管壊死(acute tubular necrosis)、尿細管・間質腎炎(tubuloーinterstitial nephritis)が100ppm曝露では観察されたが、50ppm曝露では観察されなかった。可逆性の影響で刺激を表現していると考えられる鼻腔粘膜の炎症所見は、50ppm曝露においても観察された。血液学的・血清生化学的な所見に異常はなかった。
2、テトラエトキシシラン腹腔内投与実験
TEOSの標的臓器が、腹腔内投与・吸入曝露共に腎尿細管である事が昨年度の実験により証明された。そこでこの腎尿細管障害発生の経時推移を明らかにする目的で、ICR雄マウスに250mg/kg、500mg/kgのTEOSを腹腔内投与し、投与後12時間、24時間、3日、2週間目に病理検査、尿検査、血液学的検査、血清化学的検査を実施した。その結果、急性尿細管壊死は24時間目までは明らかに観察され、3日後にはその腎尿細管障割の修復、繊維芽細胞の浸潤と間質の繊維化が観察され、2週間後には尿細管・間質腎炎が完成していた。腎重量、血清尿素膣素は病理変化を支持する変動を示したが、尿中NAGのような逸脱酵素の変化については、明快な変動を観察する事ができなかった。この点については、今後の再検討課題であると考えている。

Research Products

• [Publications] 中島 宏,酒井 徹,山崎 一人,大前 和幸,桜井 治彦: "Tetraethoxysilane(TEOS)腹腔内投与後のマウス臓器の病理組織学的検討" 産業医学. 33. 256-257 (1991)
• [Publications] 大前 和幸: "半導体特殊材料の毒性評価" 慶応医学. 68. 729-735 (1991)
• [Publications] 大前 和幸,酒井 徹: "モノシラン、TEOSに続き半導体用ガス毒性の見直しが必要" 日経マイクロデバイス. 2. 99-103 (1991)