半導体製造における液体有機材料の生体影響に関する基礎的研究

1992 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 02404035
• Research Institution: Keio University
• Principal Investigator: 桜井 治彦 慶應義塾大学, 医学部, 教授 (70051357)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 大前 和幸 慶応義塾大学, 医学部, 助教授 (60118924)
• Keywords: 半導体 / 毒性 / 有機液体珪素化合物 / テトラエトキシシラン / 動物実験

Research Abstract

1、動物実験
テトラエトキシシランによる腎機能障害の早期発見のための健康指標を探索する目的で、急性腎尿細管壊死・尿細管間質腎炎を発生する量のテトラエトキシシランを雄性マウス腹腔内に投与し、尿中に逸脱する酵素、タンパク、尿素窒素等の量の経時変化を測定したが、適当な指標は見いだせなかった。
2、報告書の作成
平成2年度〜4年度に実施した、本研究結果に関する報告書を作成した。

Research Products

• [Publications] 酒井 徹,大前 和幸,桜井 治彦,等。: "Tetraethoxyslane(TEOS)腹腔内投与後のマウス臓器の病理組織学的検討。" 産業医学. 33. 256-257 (1991)
• [Publications] 大前 和幸: "半導体特殊材料の毒性評価" 慶応医学. 68. 729-735 (1991)
• [Publications] Omae K.: "Toxecety of silicon compiunds used in semiconductor manufacturing pricesses." Proceeding of 15th workshop on ULSI ultra clean technology. 101-110 (1991)
• [Publications] Omae k,Sakurai H,etal.: "Acute renal injury by tetraethyl orthosilicate in mice:ultrastructure,histochemistry and X-ray microanalysis." J Submicrosc Cytol Pathol. 24. 257-268 (1992)
• [Publications] Omae K,Sakai T,Sakurae H,etal.: "Acute and subacute inhalation toxicity of silane 1,000ppm in mice." Arch Toxecol. 66. 750-753 (1992)
• [Publications] 大前 和幸,等。: "特殊材料ガスの毒性" 安全工学(J Jap Society Safety Engineering). 31. 336-342 (1992)