1990 Fiscal Year Annual Research Report
放電発光スペクトルの多数同時計測による電界及び電子エネルギ-分布測定法の研究
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02452137
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
河野 照哉 東京大学, 工学部, 教授 (30010705)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
千葉 政邦 東京大学, 工学部, 助手 (20011140)
日高 邦彦 東京大学, 工学部, 助教授 (90181099)
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| Keywords | 放電 / 発光スペクトル / 電界 / 電子エネルギ-分布 / 測定法 / プラズマ / 分光 / 陽光柱 |
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| Research Abstract |
1.分光測定系に加えて、金属探針によるプラズマ診断も可能なように、測定系の充実を図った。
2.N_2グロ-放電陽光柱の理論解析手法の改良を行い、電子密度分布、軸方向電界強度が数値計算可能になった。さらに、この数値計算結果が実測値とよく一致することを確認した。これにより、グロ-放電陽光柱を一種の「標準的プラズマ状態」として、校正の標準として使用可能になった。
3.N_2グロ-放電陽光柱からの発光を対象に放射レ-トを実測する手法を確立し、放射レ-ト理論計算値との比較を可能にした。これにより、断面積の信頼性評価と反応係数の推定が可能になった。
4.N_2の放射スペクトルの分光測定波長プロフィ-ルを数値シミュレ-ションにより再現する手法を、N_2 First Positive Systemに対して適用可能にした。これにより、N_2の3種の主要スペクトル全てについて、分光測定波長プロフィ-ルを数値計算可能になった。
5.N_2にプロ-ブガスとしてArを微量混合することで、N_2内の電子エネルギ-分布に関する情報をArの放射スペクトルとして検出可能であることを確認した。これにより、多数のスペクトルを同時計測することの有効性がさらに増すものと期待できる。
6.多数のスペクトルを同時に時間分解分光測定するために、分光器、ストリ-クカメラ、冷却型CCDカメラを組み合わせた測定装置系を設計、製作中である。
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Research Products
(2 results)
