1990 Fiscal Year Annual Research Report
MO(有機金属)の完全クラッキングによるカ-ボンフリ-MOMBE
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02452144
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| Research Institution | University of Tsukuba |
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Principal Investigator |
長谷川 文夫 筑波大学, 物質工学系, 教授 (70143170)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
重川 秀実 筑波大学, 物質工学系, 講師 (20134489)
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| Keywords | MOMBE / 有機金属 / 分子線エピタキシ- / カ-ボン汚染 / AlGaAs |
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| Research Abstract |
1.研究の目的ーーーーAlGaAsなどのMOMBEに於けるC(カ-ボン)汚染の問題を、(1)MOを1200℃程度の高温で完全に分解しCを除去する、(2)H^※(水素)ラヂカルを積極的に供給する、ことにより解決しようとするものである。
2.本年度の研究実績ーーーー手持ちの加熱装置でカ-ボンブロックを加熱し、他の研究室より借りたQMS(四重極質量分析装置)を用いてメタンの分解の実験を試みたが、期待した様なメタンの分解を得ることは出来なかった。一方、ロ-ドロック機構はついていないが、1200L/minの油拡散ポンプとQMSのついた古い真空蒸着装置を手に入れることが出来たので、これを使って高温に加熱されたヒ-タ-にメタンを照射したが、やはり顕著なメタンの分解を確認することは出来なかった。一方、Wフィラメントを用いてH^※(水素)ラヂカルを発生させ、C(カ-ボン)をメタンとしてエッチングすることを試みた結果、C(カ-ボン)の除去が可能であることが分かった。
現在真空装置のガス導入部分にWフィラメントをつけて、TMGやTMAを分解する装置を試作中である。またGaAs AlGaAsのMOMBEが出来るように、部品を講入し装置を改造中である。
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