1991 Fiscal Year Annual Research Report
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02555045
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
中島 尚正 東京大学, 工学部, 教授 (00011073)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
水野 智公 アイシン精機(株), 第2技術開発研究所, 研究員
村上 存 東京大学, 工学部, 講師 (20212251)
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| Keywords | マイクロマシン / スタ-リングエンジン / アクチュエ-タ / マイクロエンジン / カテ-テル |
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| Research Abstract |
1.光熱駆動型アクチュエ-タ単体の特性解析
前年度に試作した光熱駆動求アクチュエ-タは、光ファイバ-により供給される光熱により作動流体(フロン113)を気化させてその圧力を利用してダイアフラムを変位させるアクチュエ-タである。本年度は、まず、このアクチュエ-タの特性を明らかにするために、以下の3項目にかんする特性解析を行った。
1)ダイアフラム(NiCrXi膜)の変位-圧力特性
2)ダイアフラムの耐久性試験
3)半導体レ-ザ光によるアクチュエ-タの光熱駆動と応答時間
ダイアフラム(800μm角、0.8μm厚)の変位-圧力特性については、33μm/1kPaであり、0から1kPaの駆動圧力変化を50000回繰り返しても破壊しなかった。
10mWの半導体レ-ザ光による駆動に成功し、応答周波数については3Hzまでは正常に作動することを確認した。
2.マイクロポンプへの応用
上記の光熱駆動型アクチュエ-タを5つ並べてアレイ化したものと、その上に形成した流路とを組み合わせて、マイクロポンプを構成することを考案し、設計・試作した。
光熱の替わりに空気圧駆動により水を対象とした実験では、駆動圧力1kPa、駆動周波数3Hzにおいて、30mmaqの圧力と、30nl/cycleの流量が得られた。
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