1990 Fiscal Year Annual Research Report
液体中原子間力顕微鏡(AFM)による極限表面構造解析
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02555166
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
板谷 謹悟 東北大学, 工学部, 助教授 (40125498)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
富田 英介 セイコー電子工業(株), 機械開発部, 主任
井上 明 セイコー電子工業(株), 機械開発部, 次長
安宅 龍明 セイコー電子工業(株), 機械開発部, 課長
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| Keywords | AFM / STM / 固液界面 / 電極表面 |
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| Research Abstract |
研究の目的
原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope;以下AFMと略す)は走査トンネル顕微鏡(STM)の一つのファミリ-として発展してきたが、ごく最近絶緑物表面の原子構造まで解像可能であることが明らかになりつつある。研究代表者らはすでにSTMによる各種金属電極及び半導体電極表面の構造を原子レベルでの解像力で、溶液に浸かったままその場測定(inーsitu)測定する方法を完成している。しかし、この方法によると、観察対象は電子伝導体に限られ、化学的に興味ある多くの絶緑物には応用する事は出来ない。こうした背景のもとに本試験研究においては、絶緑物表面の原子構造を液体中で直接その場(inーsitu)測定しうる方法の確立を行い、そのための関連装置と測定技術の開発を目的とした。
本年度の研究実施計画は以下の項目について、主に装置開発を主力に行なった。1.液体中AFM本体の開発;AFM装置本体の開発においては、3つの重要な要素がある。(1)カンチレバ-の開発(2)位置検出方法、(3)試料をX,Y,Z軸に動かすピエゾ圧電体の開発である。2.液体中AFM制御回路の開発;基本的にはSTMの制御回路が使用可能と考えられるが、カンチレバ-からの反射光を位置検出する前置増幅器との整合性等を検討する。3.防振・防音構造の確立;STM開発で確立した技術をさらに向上させ、0.1オングストロ-ム以下の凹凸像を解像可能にする。4.画像処理用ソフト開発;高分解能の測定に対応すべく、ソフト開発を行なう。以上の検討を通して、装置の分解能を検討したところ、1nm程度であった。さらに高分解化に向けての研究開発を行なう。
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Research Products
(1 results)
